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基于UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针

明平美  朱荻  胡洋洋  赵波  曾永彬  
【摘要】:介绍了基于UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针的工艺过程,分析了制备的技术关键,试验优选了关键制备环节的工艺参数。试验结果表明:采用优化的工艺条件能低成本制备出形貌质量高、缺陷少的微型柔性镍接触探针。

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