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铝基硅氧化物陶瓷薄膜摩擦磨损性能研究

张际亮  郦剑  沃银花  刘立  
【摘要】:在纯铝基底上通过低温常压化学气相沉积(APCVD)方法制备了硅氧化物SiOx陶瓷膜层,实现了铝表面改性。利用扫描电子显微镜(SEM)观察膜层表面、截面以及90°折弯试样的截面形貌,结果表明膜层表面为球状或等轴状陶瓷颗粒,颗粒间存在间隙,膜层与基底结合紧密,基底对膜层有良好的支承;摩擦和磨损试验表明,不同材料销试样对膜层的摩擦系数影响很大,铝基硅氧化物陶瓷薄膜与金属铝的磨损行为和机理发生改变,具有低的摩擦系数和磨损量,有效提高铝样品的耐磨性。

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