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活性屏离子渗氮过程中的粒子形貌与结构研究

赵程  赵慧丽  侯俊英  
【摘要】:活性屏离子渗氮是依靠从活性屏上溅射下来的活性粒子沉积在工件表面,利用这些粒子进行渗氮处理。通过对不同条件下收集到的粒子分析研究发现,活性屏离子渗氮是接着溅射-吸附-脱附-扩散等步骤分阶段进行,粒子在活性屏离子渗氮过程中只是起着渗氮载体的作用。

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