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CMOS电路与大量程流量计的单片集成

赵涛  张大成  王小保  
【摘要】:在CMOS标准工艺和压阻器件经典工艺的基础上,通过两者合理的工艺组合,将以大量程流量计为代表的压阻器件与相关的调理电路集成在一个硅片上。测试结果表明,在集成工艺流程下,CMOS的单管特性和放大电路的闭环特性均正常工作。

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