CMOS电路与大量程流量计的单片集成

赵涛张大成王小保

【摘要】：在CMOS标准工艺和压阻器件经典工艺的基础上,通过两者合理的工艺组合,将以大量程流量计为代表的压阻器件与相关的调理电路集成在一个硅片上。测试结果表明,在集成工艺流程下,CMOS的单管特性和放大电路的闭环特性均正常工作。

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5	吴新生;廖小永;魏国远;王黎;;流量计现场在线计量校准方法初探[A];中国水利学会2010学术年会论文集（下册）[C];2010年
6	何俊;曹雪峰;;一种新型节流式差压流量计——V锥流量计[A];中国计量协会冶金分会2011年会论文集[C];2011年
7	徐文起;费鸣杰;陈俞任;;数字显示干式流量计在线燃气流量的检测[A];中国土木工程学会城市燃气分会应用专业委员会2010年年会论文集[C];2010年
8	王海燕;;YYV智能V型锥流量计在济钢焦化厂的应用[A];苏、鲁、皖、赣、冀五省金属学会第十五届焦化学术年会论文集（上册）[C];2010年
9	李琼;;燃气客户计量管理工作的实践分析[A];2011年全国冷冻冷藏行业与山东制冷空调行业年会暨绿色低碳新技术研讨会论文集[C];2011年
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1	;世伟洛克变截面流量计提供定制校准[N];中国高新技术产业导报;2009年
2	本报记者施晔;农灌节水“第一人”[N];南通日报;2010年
3	张萍;计量站在油品计量中的作用[N];石油管道报;2009年
4	记者/赵静;5个专利项目列入省成果转化获支持[N];铁岭日报;2009年
5	王力;天信：和谁赛跑[N];科技日报;2001年
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9	通讯员张惠娟　吴祥伟;中哈管道阿拉山口计量站——流量计首次在线实液自检完成[N];中国石油报;2010年
10	记者蔡清泉　通讯员朱千发;计量准确维护企业声誉和利益[N];中国石化报;2009年

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