收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

基于PZT薄膜的集成式微悬臂梁结构设计与制作

刘梦伟  佟建华  崔天宏  董维杰  崔岩  王兢  王立鼎  
【摘要】:设计了基于PZT压电薄膜的双层和双片压电微悬臂梁结构,利用压电材料的正压电效应和逆压电效应,通过两个压电元件实现传感和执行功能的集成。悬臂梁结构采用体硅加工工艺制作,锆钛酸铅(Pb(Zr,Ti)O3,PZT)压电薄膜采用sol-gel方法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制作,压电薄膜具有完整的钙钛矿结构和(111)择优取向。为了提高悬臂粱的性能和制作成品率,对制作微悬臂梁的关键工艺进行了优化。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 陈志越;;高分子压电材料及其应用[J];电声技术;1979年02期
2 王俊喜;董向丹;张丽伟;王新昌;;LiNbO_3压电薄膜的研究进展[J];真空与低温;2010年01期
3 张先懿 ,赵坚 ,刘玉兰 ,黄一麟;聚偏氟乙烯压电薄膜的实验研究[J];声学与电子工程;1986年04期
4 张利民;张波萍;李敬锋;丁晓年;张海龙;;Ag~+掺杂Na_(0.5)K_(0.5)NbO_3无铅压电陶瓷的无压烧结及性能研究[J];稀有金属材料与工程;2007年S1期
5 何存富;冯喜旺;吴斌;王秀彦;李隆涛;;光刻技术在PVDF压电薄膜电极制作中的应用[J];传感器与微系统;2006年10期
6 李学军;侯彦涛;何宽芳;宾光富;;集成式多功能振动信号测试系统的研制[J];振动、测试与诊断;2008年02期
7 刘斌;车万慧;何德贵;;辐射进料泵机械密封的设计及应用[J];流体机械;2010年10期
8 刘一声;;氧化锌压电薄膜及其在超声显微镜中的应用[J];功能材料;1989年05期
9 杨楚威;李俊红;黄歆;汪承灏;;圆形振动膜ZnO压电微传声器的研制[J];应用声学;2006年04期
10 张晓青;;孔洞结构聚丙烯铁电驻极体薄膜的压电性研究[J];材料科学与工艺;2008年04期
11 孙转兰;张晓青;曹功勋;王学文;夏钟福;;有序结构氟聚合物压电驻极体的制备和压电性研究[J];物理学报;2010年07期
12 郑泽渔;汤劲松;朱昌安;周勇;王宗富;;ZnO压电薄膜双面共溅生长技术[J];压电与声光;2010年04期
13 秦波;谈国强;苗鸿雁;夏傲;程蕾;;微波水热法制备KNbO_3粉体及其性能研究(英文)[J];无机材料学报;2011年08期
14 夏元友,朱瑞赓;斜坡稳定性综合评价方法的集成式因素权重赋值方法[J];中国有色金属学报;1998年01期
15 徐绳武;;发展我国经济型、集成式开式油路泵控系统(上)——开式油路系统的技术特点分折[J];液压气动与密封;2010年05期
16 刘付德;;用平面磁控溅射低温生长C轴择优取向的AIN薄膜[J];功能材料;1989年04期
17 潘永东,钱梦录,刘尔凯,候立;CVD金刚石膜声学特性的激光超声研究[J];人工晶体学报;1997年Z1期
18 李位勇;顾豪爽;张凯;胡明哲;胡光;;AlN薄膜体声波谐振器研究[J];功能材料与器件学报;2006年05期
19 李焰,张向荣,谭红梅,刘晓玲,裴明敬;国产PVDF压电薄膜的冲击加载及卸载响应研究[J];高压物理学报;2004年03期
20 邱成军,曹茂盛,孟丽娜,刘红梅,张辉军;溶胶-凝胶法制作PZT薄膜微驱动器的工艺研究[J];云南大学学报(自然科学版);2005年S1期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 刘梦伟;佟建华;崔天宏;董维杰;崔岩;王兢;王立鼎;;基于PZT薄膜的集成式微悬臂梁结构设计与制作[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
2 孙宏明;张翊;郭航;;磁控溅射ZnO压电薄膜的生长与表征[A];第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会摘要集[C];2006年
3 郝俊杰;李龙土;徐廷献;;基片种类及梯度烧成对PZT薄膜表面形貌的影响[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
4 郑学军;周益春;;X射线衍射和纳米压痕法测试铁电薄膜的力学性能[A];祝贺郑哲敏先生八十华诞应用力学报告会——应用力学进展论文集[C];2004年
5 张鹰;严康宁;曲喜新;;溅射工艺参数对复合压电薄膜结构的影响[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
6 李俊红;汪承灏;刘梦伟;徐联;;适用于压电硅微传声器的PZT压电薄膜的研制[A];2008年全国声学学术会议论文集[C];2008年
7 何世安;朱魁章;周皖生;;集成式斯特林制冷机微杜瓦组件的研究[A];第五届全国低温工程大会论文集[C];2001年
8 邓茂英;刘国雄;林论男;;有机金属裂解法制备PZT薄膜之结晶特性强化[A];中国颗粒学会2002年年会暨海峡两岸颗粒技术研讨会会议论文集[C];2002年
9 余厉阳;王德苗;董树荣;金浩;;PZT压电薄膜的制备[A];第四届华东真空科技学术交流展示会学术论文集[C];2003年
10 吳朗;陳炳輝;李茂順;郭興家;吳金昆;;锆钛酸铅压电薄膜的制备[A];第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会摘要集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 徐任信;压电陶瓷/聚合物复合材料薄膜的极化与性能研究[D];武汉理工大学;2005年
2 孙秋;掺杂PZT薄膜的制备及微结构与铁电性能研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
3 孙剑;金刚石基片上压电薄膜的制备及其生长特性研究[D];大连理工大学;2008年
4 龚恒翔;多晶氧化锌薄膜的制备和结构、电学、光学特性研究[D];兰州大学;2002年
5 徐临燕;纳米梁谐振器的测试与表征方法研究[D];天津大学;2009年
6 王吉宁;取向Pb(Zr_(1-x)Ti_x)O_3和BiFeO_3薄膜的残余应力及其效应研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 赵佳欣;锶掺杂PZT薄膜的特性与器件研究[D];大连理工大学;2009年
2 包汉瑜;微悬臂梁横向弹性系数标定关键技术的研究[D];天津大学;2012年
3 赵海波;水热合成法制备PZT压电薄膜的研究[D];大连理工大学;2006年
4 陈庆超;AFM微悬臂梁法向弹性系数标定技术[D];天津大学;2012年
5 张小军;压电薄膜特性参数测量研究[D];大连理工大学;2006年
6 孙宏明;基于MEMS的压电超声技术的研究[D];厦门大学;2009年
7 宫淑丽;噪声主动控制智能结构研究[D];南京航空航天大学;2002年
8 汤敏敏;化学改性的聚丙烯孔洞驻极体膜的储电性及压电性[D];同济大学;2007年
9 何田;钛酸铋钠基无铅压电陶瓷的粉体制备及性能研究[D];中国海洋大学;2007年
10 曹彦楠;集成式高响应节能控制阀的节能特性研究[D];燕山大学;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978