基于PZT薄膜的集成式微悬臂梁结构设计与制作
【摘要】：设计了基于PZT压电薄膜的双层和双片压电微悬臂梁结构,利用压电材料的正压电效应和逆压电效应,通过两个压电元件实现传感和执行功能的集成。悬臂梁结构采用体硅加工工艺制作,锆钛酸铅(Pb(Zr,Ti)O3,PZT)压电薄膜采用sol-gel方法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制作,压电薄膜具有完整的钙钛矿结构和(111)择优取向。为了提高悬臂粱的性能和制作成品率,对制作微悬臂梁的关键工艺进行了优化。
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