水热合成法制备PZT压电薄膜工艺研究

【摘要】：对水热合成法制备Pb(Zr1-xTix)O3(PZT)薄膜的原理进行了讨论,以钛、锆的醇盐和硝酸铅等为原料制备出PZT压电薄膜,利用X射线衍射对PZT压电薄膜的成分进行了分析,利用扫描电子显微镜(SEM)对PZT晶体形成过程的变化进行了分析。X射线衍射分析表明,晶体成核阶段,PbZrO3(PZ)成分较多,晶体生长阶段,PZ成分减少,PZT成分逐渐增多。2次重复生长过程后,SEM扫描图像所得为四方形PZT晶体,颗粒平均尺寸为5μm,与Shimomura和Kanda实验所得的PZT晶体颗粒在大小和形状上基本相同,为钙钛矿型结构。

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前20条

1	周里群 ,李玉平;超声波换能器材料的设计与研究[J];精密制造与自动化;2004年01期
2	徐红星,袁新华;分布式PZT片驱动性能的实验研究[J];甘肃工业大学学报;2002年03期
3	张红芳,佘正国;探讨溶胶-凝胶工艺制备PZT薄膜[J];江苏大学学报(自然科学版);2002年02期
4	高栋,袁哲俊,赵伟明,林发荣;提高镗孔精度的在线误差补偿法[J];机械工艺师;1998年09期
5	张荣欣;;用水热合成法制造六钛酸钾长纤维[J];砖瓦世界;1990年03期
6	解光亮,屈晓田,张力江;PZT的制备及其微观结构分析[J];测试技术学报;2003年03期
7	董树荣,王德苗,任高潮,王华;PZT高频陶瓷表面金属化薄膜及其结构[J];中国有色金属学报;2002年S1期
8	戴玉蓉,包鹏,沈惠敏,王业宁;PbZr_(0.52)Ti_(0.48)O_3陶瓷材料的微结构和疲劳性能研究[J];哈尔滨理工大学学报;2002年06期
9	张建,张丛春,崔万秋;PZT多元系固溶体压电陶瓷正电子湮没研究[J];武汉工业大学学报;1999年02期
10	高栋,袁哲俊,赵伟明,林发荣;一种新型的微量进给镗杆[J];工具技术;1998年07期
11	王华,于军,王耘波,周文利,谢基凡,朱丽丽;低温制备Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3铁电薄膜及其性能研究[J];功能材料;2001年03期
12	张林涛,任天令,张武全,刘理天,李志坚;Sol-Gel法硅基PZT铁电薄膜研究[J];功能材料;2001年03期
13	杨光瑜,杨拥民,陈仲生,郭谆钦;PZT在机械损伤检测中的应用[J];机械;2002年04期
14	乔利杰;;铁电陶瓷在力-电和化学环境中的耦合效应[J];功能材料信息;2007年05期
15	吴湘伟,陈振华;用溶胶-凝胶法制备PZT铁电薄膜[J];稀有金属与硬质合金;2002年04期
16	陈聪;;掺杂PZT压电陶瓷材料的研制及其发展趋势[J];科技情报开发与经济;2006年09期
17	贺连星,李承恩;锰掺杂对硬性PZT材料压电性能的影响[J];无机材料学报;2000年02期
18	万青,王连卫,邢朔,章宁琳,沈勤我,林成鲁;以Al_2O_3为过渡层脉冲激光法制备PZT铁电薄膜[J];功能材料与器件学报;2002年02期
19	乌兰图雅,陈磊;非对称式压电陶瓷微位移器驱动电源设计[J];南京理工大学学报(自然科学版);2003年06期
20	王守德,刘福田,程新;PZT掺杂Ba(Cu_(1/2)W_(1/2))O_3的压电陶瓷的性能研究[J];济南大学学报(自然科学版);2004年03期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	杜立群;赵海波;吕岩;;水热合成法制备PZT压电薄膜工艺研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C];2005年
2	刘高旻;谢庆海;刘艺;王海晏;贺红亮;;PZT 95/5陶瓷FE→AFE相变区冲击放电规律研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集（第3分册）[C];2010年
3	郭兴巴图;肖丰收;徐如人;;水热合成法制备沸石基纳米功能材料[A];面向21世纪的科技进步与社会经济发展（上册）[C];1999年
4	孟庆华;朱孔军;裘进浩;董娜娜;季宏丽;;Pb过量及退火工艺对溶胶凝胶法制备PZT粉体的影响[A];中国颗粒学会超微颗粒专委会2011年年会暨第七届海峡两岸超微颗粒学术研讨会论文集[C];2011年
5	张移山;杨晋辉;华庆祥;潘冬冬;;基于PZT压电陶瓷传感器的铝板损伤监控定位技术研究[A];2011年全国机械行业可靠性技术学术交流会暨第四届可靠性工程分会第三次全体委员大会论文集[C];2011年
6	刘倩;周剑平;王攀;;镍锌铁氧体Ni0.4Zn0.6Fe2O4和铁电体PZT多铁复合陶瓷的介电性能和磁性能[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
7	高晓云;刘庆锁;陆翠敏;;PZT基体上局部沉积NiTiSMA薄膜材料的组织结构研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集（第4分册）[C];2010年
8	李宏愿;魏渝伟;庞玲玲;;高吸水介孔分子筛的合成[A];第14次全国分子筛学术年会论文集——微孔介孔材料科学及在新能源与节能、减排中的应用[C];2008年
9	杨术明;寇慧芝;;水热合成法制备纳米SrTiO_3光催化剂[A];第六届全国环境催化与环境材料学术会议论文集[C];2009年
10	王灿;石云;方前锋;朱震刚;;PZT铁电陶瓷的低频内耗研究[A];全国第六届固体内耗与超声衰减学术会议论文集[C];2001年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	余璟;基于PZT阻抗技术的结构损伤识别研究[D];华中科技大学;2011年
2	李建华;前驱体法制备PZT/ZrO_2纳米复相陶瓷性能研究[D];天津大学;2009年
3	冯铁程;B位先驱体法制备PZT/ZrO_2复合压电陶瓷及其性能研究[D];天津大学;2010年
4	邓启煌;多场耦合条件下MSP测试系统的建立及在PZT陶瓷中的应用[D];东华大学;2012年
5	晁小练;低温烧结PZT基压电陶瓷材料的研究及器件开发[D];陕西师范大学;2010年
6	孙士斌;低维纳米结构氧化钨和二硫化钨的制备及结构研究[D];山东大学;2009年
7	吴宗斌;多孔膦酸盐的制备、表征和结构研究[D];中国科学院研究生院（大连化学物理研究所）;2004年
8	胡鹏;高频微型声驱动热声制冷机的理论探索与实验研究[D];中国科学院研究生院（理化技术研究所）;2007年
9	杨良保;Keggin结构的12-硅钨酸体系无机纳米材料的合成与表征[D];安徽大学;2007年
10	刘海涛;PZT压电陶瓷纳米晶粉体合成及掺杂改性研究[D];哈尔滨工程大学;2005年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	张岩;磷酸铈铝分子筛的合成及表征[D];内蒙古工业大学;2009年
2	焦蕾;介孔二氧化钛材料的制备与性能研究[D];南京理工大学;2003年
3	董涛;高纯相SAPO-5分子筛的微波合成及其表征[D];陕西师范大学;2005年
4	姜淑娟;孔道结构TiO_2或Ta_2O_5负载型多酸的制备及其光催化性能研究[D];东北师范大学;2006年
5	高源;新型骨架结构的磷酸镓类微孔晶体材料的水热合成[D];哈尔滨工业大学;2006年
6	张莉;新型碘酸盐材料的水热法合成及结构与性能研究[D];北京工业大学;2006年
7	李娅楠;新型钛酸锶多功能压敏陶瓷制备技术研究[D];沈阳工业大学;2007年
8	谢婷婷;多金属氧酸盐无机—有机配合物的溶剂热合成及晶体结构研究[D];北京化工大学;2007年
9	马继红;硫酸钙晶须的制备及在道路改性沥青中的应用研究[D];山东科技大学;2005年
10	黄淳清;钛硅分子筛及其改性催化剂催化环己酮氨氧化制环己酮肟[D];湘潭大学;2006年

中国重要报纸全文数据库

前8条

1	;纳米时代即将来临[N];中国证券报;2000年
2	朱镭（本文作者系武汉大学硕士研究生）;纳米：电力工业展神奇[N];中国电力报;2002年
3	本报记者董小雷;环保技术新宠——光催化剂[N];中国化工报;2002年
4	许祖华冯国;我国首次研制出无铅压电材料[N];中国技术市场报;2009年
5	记者鸣琦;西安交大无铅压电材料研究取得重大突破[N];陕西日报;2009年
6	本报记者刘霞;纳米发电机,小材有大用[N];科技日报;2010年
7	记者李军;无铅压电材料锆钛酸钡钙诞生[N];中国化工报;2009年
8	骆珈　那月东;铁电随机存储器专利申请现状分析[N];中国知识产权报;2011年

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