收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

陶瓷微加工工艺及陶瓷微反应器的制作研究

王俊  郭育华  朱学林  刘刚  田扬超  
【摘要】:研究了一种制作微陶瓷器件的快捷、方便、低成本的方法。利用同步辐射曝光、深紫外曝光或者注塑的方法,制作出带有微结构的模具,加入经过处理的陶瓷粉,通过模压后,脱去基片,在1500℃烧结成形,可以得到精度在几十微米的微结构。利用该工艺制作了微陶瓷反应器。

知网文化
【相似文献】
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 王俊;郭育华;朱学林;刘刚;田扬超;;陶瓷微加工工艺及陶瓷微反应器的制作研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 周伟;多孔金属纤维烧结板制造及在制氢微反应器中的作用机理[D];华南理工大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 潘子祥;金属阵列结构样品制作及微波太赫兹波透射实验观测[D];华中科技大学;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978