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李加东;张平;吴一辉;宣明;刘永顺;王淑荣;;用于微镜制作的叠层光刻胶工艺及残余应力控制[J];光学精密工程;2008年11期 |
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张文杰;彭玉峰;王建成;程祖海;;双离子束溅射沉积HfO_2光学薄膜的研究[J];强激光与粒子束;2007年09期 |
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