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MEMS微加速度传感器的系统级仿真

刘妤  温志渝  张流强  梁玉前  
【摘要】:概述了适用于MEMS系统仿真的几种方法,着重介绍了这些方法的基本思想、实现关键及各自的优缺点,并初步实现了典型叉指电容式微加速度传感器的系统级仿真。

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