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微加热式微气压传感器测试电路的设计与分析

江胜峰  金仁成  唐祯安  张凤田  高仁璟  
【摘要】:根据已研制的微加热式微气压传感器的加热电阻,设计了恒温、恒功率、恒压电桥三种测试电路,并对它们作了深入的分析对比。通过对微加热式微气压传感器的初步测试,发现传感器在恒温工作模式下有较高的灵敏度。

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