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一种基于MEMS技术的红外热探测器研究与设计

王佳能  温志渝  张流强  
【摘要】:为了提高传统探测器的响应度和灵敏度,利用微机电系统(MEMS)的方法设计了一个微梁红外热探测器。对硅基微悬臂梁红外热探测器的工作原理进行了详尽的分析。设计了一个实验平台来测量微悬臂梁的变形,实验结果表明,基于MEMS技术的红外热探测器有良好的性能。

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