收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

微型热敏传感器的薄膜电阻设计研究

刘奎  苑伟政  邓进军  马炳和  姜澄宇  
【摘要】:应用微型热敏传感器薄膜电阻的电阻温度系数设计方法,得到基于热敏电阻的电阻温度系数的计算和设计参数。结合针对流体壁面剪应力测量的应用要求,分析多晶硅和铂金属热敏电阻的优缺点,并且对试验电阻进行电阻温度系数和时间常数的分析计算,依据计算结果确定微型热敏传感器薄膜电阻的基体材料、薄膜材料和特征尺寸等参数,为微型热敏传感器的实际应用提供参考依据和分析方法。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 李学金;气-热敏复合元件的温度补偿[J];电子元件与材料;1998年03期
2 胡艳玲;王兴英;;开设设计性检测电路实验课的尝试[J];高校实验室工作研究;2001年02期
3 N.R.凯尔特纳;黄泽铣;;瞬态表面温度测量[J];功能材料;1974年Z1期
4 张连春;发展中的微电子机械技术[J];丹东纺专学报;1997年04期
5 刘念;谢驰;;修正热敏元件特性的计算机处理方法[J];电工技术;1999年04期
6 姚惠林;张松兰;鄂以帅;;起重机用变频器及相关电气件参数的设计[J];新技术新工艺;2011年01期
7 李秉臣;毕可奎;李建中;楼章和;李国花;;平面型SnO_2微型传感器[J];化学传感器;1987年02期
8 刘大为;李亮亮;李敬锋;;微型热电器件应用的最新研究进展[J];中国科技论文在线;2011年08期
9 吴柏源,尧明旺,江美玉,林广涌;一种新型的性能优良的PTCR材料[J];电子元件与材料;1997年02期
10 陈秋航,王鹏程;双自热珠式热敏元件在水流速测量中的应用[J];电子元件与材料;1997年04期
11 张培君;PTC热敏元件的特性和检测[J];家庭电子;1999年02期
12 吴大维,张志宏,罗海林,郭怀喜,范湘军;直流反应磁控溅射法注积ZrN薄膜[J];材料研究学报;1997年02期
13 王疆瑛,陶明德,韩英;NiFeAlO系宽温区热敏元件的研制[J];电子元件与材料;1997年04期
14 高良玉,郭文元,耿风慧,雷颖;温度在线检测用热敏材料时效稳定性的研究[J];电工技术学报;1999年02期
15 李扬,周明,张平;模数转换器在压力传感器温度补偿中的作用[J];山东电子;2000年02期
16 蔡菊荣;;纳米器件及其在军事电子系统中的应用前景(续一)[J];电子元器件应用;2001年06期
17 王永年;中国敏感元件行业中热敏元件的现状研究[J];传感器世界;1998年04期
18 李兴,梁家昌,H.ThermanHenderson;微型流量传感器呼吸监测及信号处理系统[J];天津师大学报(自然科学版);2000年02期
19 方培生,方国宏;PTC热敏元件用于程控电话交换机上的研究[J];半导体杂志;1999年01期
20 周海峰;PTC及其在测温控温电路中的应用[J];集美大学学报(自然科学版);2000年01期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 刘奎;苑伟政;邓进军;马炳和;姜澄宇;;微型热敏传感器的薄膜电阻设计研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
2 苏雁;;多层功分器微带板中的埋电阻工艺[A];2008中国电子制造技术论坛论文集[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 赵俊;热敏元件综合特性测试系统研究[D];华中科技大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 邓勇;双层悬臂梁压电能量采集器特性研究[D];上海交通大学;2011年
2 于国亮;一种微型FBG压力传感器的设计研究[D];山东科技大学;2011年
3 李斌斌;MEMS带通滤波器的设计研究[D];西安电子科技大学;2011年
中国重要报纸全文数据库 前3条
1 中国电子科技集团公司第49研究所信息中心主任 曹金名;微电子机械系统开辟新世界[N];中国电子报;2003年
2 ;新型传感器研发呈现五大特点[N];中国电子报;2002年
3 王小龙;超薄发光二极管软片问世[N];科技日报;2010年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978