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交错振动式微型电场传感器

龚超  陶虎  白强  陈绍凤  夏善红  
【摘要】:介绍一种由基底、感应电极、屏蔽电极和驱动结构组成的新型微型电场传感嚣。与其他微型传感器相比,该传感器采用独特的交错振动的工作方式,显著地提高了传感器感应电场的能力和稳定性。传感器采用压电陶瓷制作驱动结构,可以在较低的驱动电压下获得较大的振动幅度,降低了驱动对输出的串扰,从而提高了嚣件的信噪比。试验结果表明,传感器的分辨率优于100V/m,为目前微型电场传感器中最高水平。介绍了此种传感器的结构、原理,以及传感嚣样品的测试结果。

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