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MEMS电容式加速度计可靠性研究

吝海锋  吕苗  杨拥军  师谦  郑锋  恩云飞  
【摘要】:探讨了MEMS电容式加速度计的结构、电路、制造工艺和系统等各方面的可靠性,总结出了表面粘附、结构断裂、分屡失效和辐射失效等几种主要失效模式,并进行相应的失效机理分析。通过可靠性实验进行了验证,发现非致命的环境影响因素中,温度对电容式加速度计性能影响最大,最终完成了满足实用化要求的MEMS微加速度计设计。

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