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大范围扫描的高精度三维数显镜体的设计

王银峰  杨学恒  刘安平  陈昌水  
【摘要】:介绍了一种新型扫描探针显微镜镜体的设计,该镜体的扫描工作平台可以在3个方向以每步10nm的精度移动,它突破了扫描探针显微镜中压电陶瓷对扫描范围的限制,采用非压电陶瓷机械传动装置实现了大范围扫描。该设计采用逐级定位扫描放大技术将纳米测量与纳米加工范围延伸到25mm×25mm,甚至更大,镜体设计已经获得国家实用新型专利(ZL02221502.6)。将该镜体应用在STM和AFM上,实现了对样品的大范围扫描检测,并保证了测量的高精度。

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