大范围扫描的高精度三维数显镜体的设计

【摘要】：介绍了一种新型扫描探针显微镜镜体的设计,该镜体的扫描工作平台可以在3个方向以每步10nm的精度移动,它突破了扫描探针显微镜中压电陶瓷对扫描范围的限制,采用非压电陶瓷机械传动装置实现了大范围扫描。该设计采用逐级定位扫描放大技术将纳米测量与纳米加工范围延伸到25mm×25mm,甚至更大,镜体设计已经获得国家实用新型专利(ZL02221502.6)。将该镜体应用在STM和AFM上,实现了对样品的大范围扫描检测,并保证了测量的高精度。

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中国期刊全文数据库

前20条

1	刘安伟,禹国强,齐鹏,胡小唐;扫描探针显微镜扫描器运动误差的研究[J];航空精密制造技术;1998年04期
2	黄强先;;压电微音叉扫描探针显微镜测头研究[J];仪器仪表学报;2007年01期
3	白春礼;;扫描探针显微镜技术[J];物理通报;1995年10期
4	林海波;杨国哲;黄小良;;大行程超精密工作台的研究[J];机械设计与制造;2010年06期
5	吴斌;黄致新;王辉;张峰;;基于原子力显微的多模式扫描探针显微镜[J];现代仪器;2007年01期
6	;扫描探针显微镜(SPM)的工作原理[J];纳米科技;2004年02期
7	李翠红;孟永钢;田煜;温诗铸;;基于超磁致伸缩和压电陶瓷的XY超精密定位工作台[J];纳米技术与精密工程;2005年04期
8	曹世智,徐毅,赵克功,许婕;扫描探针显微镜的发展与应用[J];现代计量测试;1998年04期
9	商广义,王琛,裘晓辉,田芳,白春礼;扫描探针显微镜在纳米科技中的应用[J];现代科学仪器;1998年Z1期
10	时柯普;纳米材料表征用扫描探针显微镜[J];航空工程与维修;1995年10期
11	游俊富,王虎,赵海山;扫描探针显微镜在粗糙度、纳米尺寸、表面形貌观测方面的应用[J];理化检验.物理分册;2003年03期
12	吴浚瀚 ,杨德亮 ,吴浚泓 ,袁伟华 ,黄桂珍 ,牟涛 ,商广义 ,万立骏 ,白春礼;开放式多功能扫描探针显微镜系统[J];现代科学仪器;2003年02期
13	田文超,贾建援;扫描探针显微镜系列及其应用综述[J];西安电子科技大学学报;2003年01期
14	聂鲁燕;裘祖荣;幺春娟;洪昕;;微装配中微靶球的三维移动[J];制造技术与机床;2006年02期
15	N.E.Mckeith;林劲;;压电传感器机电校准用的一种干涉技术[J];国外计量;1978年06期
16	张东华;陈维山;刘军芳;陈在礼;;微机电系统用压电驱动器的发展及应用[J];仪器仪表学报;2006年S1期
17	周虎;杨建国;陈少梅;;基于压电陶瓷的超精密进给系统的设计与分析[J];机械设计;2010年08期
18	;眼镜、放大镜、显微镜及显微术[J];中国光学与应用光学文摘;1997年04期
19	包生祥,王志红,李红霞,曾慧中,戴林杉,陈琨;扫描探针显微镜在纳米材料表征中的应用[J];现代科学仪器;2003年02期
20	傅惠南;王宏霞;王晓红;区仲荣;;SPM探针制造技术的研究和发展[J];电子显微学报;2005年06期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	王银峰;杨学恒;刘安平;陈昌水;;大范围扫描的高精度三维数显镜体的设计[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C];2005年
2	王春林;龚大江;张丽丽;臧留琴;李明;彭年才;张镇西;;焦磷酸核酸测序仪中微量加样系统的研制[A];中国生物医学工程进展——2007中国生物医学工程联合学术年会论文集（上册）[C];2007年
3	胡小唐;禹国强;刘安伟;杨勇;;三维一体化超微定位系统的研制[A];第五届全国STM学术会议论文集[C];1998年
4	陆杰;高明煜;余厉阳;;基于压电陶瓷发电的轮胎压力监测系统设计[A];浙江省电子学会第七次会员代表大会暨2007学术年会论文集[C];2007年
5	杜小振;褚金奎;朴相镐;张海军;;基于微型悬臂梁的发电机制探索[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C];2005年
6	贺斌;陈华;石旭;;数字共焦显微仪压电陶瓷物镜驱动电压源设计[A];广西计算机学会2009年年会论文集[C];2009年
7	杨党纲;史亦韦;王铮;李硕宁;王东升;;四通道水浸式超声C扫描检测软件研制[A];第三届空间材料及其应用技术学术交流会论文集[C];2011年
8	姚骏恩;商广义;贺节;;大范围高分辨扫描隧道显微镜的研究[A];第六次全国电子显微学会议论文摘要集[C];1990年
9	刘辉;黄自元;费敏锐;;基于DSP的扫描探针显微镜中压电陶瓷管非线性校正技术及其实现[A];全国冶金企业计控网络化研讨会论文集[C];2003年
10	孙鑫;费敏锐;;基于神经网络的扫描探针显微镜标定技术研究[A];节能环保和谐发展——2007中国科协年会论文集（一）[C];2007年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	王银峰;扫描隧道显微术的理论基础和大范围、快速扫描关键技术的研究[D];重庆大学;2002年
2	伏霞;探针扫描式液相原子力显微镜技术及系统研制[D];浙江大学;2011年
3	林伟;压电陶瓷微定位系统的逻辑规则控制研究[D];华中科技大学;2007年
4	王选择;正交衍射光栅计量原理及在超精密工作台上的应用[D];华中科技大学;2004年
5	孙伟;扫描探针显微镜生物成像研究与光镊的FDTD模拟[D];大连理工大学;2006年
6	黄平捷;多层导电结构厚度与缺陷电涡流检测若干关键技术研究[D];浙江大学;2004年
7	张冬仙;原子力显微术的新方法研究及新型原子力显微镜系统研制[D];浙江大学;2004年
8	齐永岳;大范围二维纳米检测系统的设计研究[D];天津大学;2004年
9	王伟丽;纳米三坐标测量机机械结构及接触式测头技术研究[D];合肥工业大学;2008年
10	孙景阳;压电式骨传导听觉装置振动器结构设计与试验研究[D];吉林大学;2010年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	孟庆杰;微小摩擦力测试仪的研制与开发[D];长春理工大学;2004年
2	邱晨曦;数字化量可控细胞显微注射仪实验研究[D];南京理工大学;2005年
3	王永;大负荷压电微位移技术及其在标准力源上的应用研究[D];吉林大学;2007年
4	渠晓峰;超声波液体密度测量仪的研究与开发[D];华北电力大学（河北）;2009年
5	王广红;基于压电微音叉的扫描探针显微镜系统研究[D];合肥工业大学;2010年
6	邢计元;白光相移干涉技术中相移控制器的研制[D];哈尔滨理工大学;2011年
7	师江;某石墨环的超声波C扫描检测研究[D];中北大学;2012年
8	佟成国;基于PZT的内窥式OCT光纤扫描探头设计及其驱动方法实现[D];哈尔滨工程大学;2011年
9	夏清文;基于数字PID的SPM控制系统[D];中国科学院研究生院（电工研究所）;2006年
10	张涛;原子力显微镜在材料和生命科学中的应用研究[D];大连理工大学;2008年

中国重要报纸全文数据库

前6条

1	李文清晨;信息时代的多面手压电陶瓷[N];北京科技报;2002年
2	罗小芳;GC 9800气相色谱仪的实验室必需条件[N];中国包装报;2006年
3	阴慧娟;新型禽流感检测盒可手持[N];医药经济报;2007年
4	成都温成宜;超声波测距仪的设计与制作(上)[N];电子报;2008年
5	;金属包装罐卷封质量视频检测仪[N];中国包装报;2004年
6	;串联式半圆形多普勒胎音收发直探头[N];中国有色金属报;2004年

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