SiC薄膜制备MEMS结构

【摘要】：采用PECVD方法制备了无定形SiC薄膜,在此基础上,以SiC为结构层,利用传统的表面硅牺牲层工艺制作了电容式谐振器以及薄膜残余应力的在片检测结构。对SiC的MEMS结构进一步进行了长时间的腐蚀,以获得SiC材料的腐蚀特性。对SiC材料的力学特性进行了研究。深入探讨了退火工艺、薄膜硅碳原子比对SiC薄膜力学特性的影响,同时对薄膜硅碳原子比与制备工艺参数(包括硅烷、甲烷流量)之间的关系进行了实验研究。

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中国期刊全文数据库

前10条

1	宋登元;固态电子学中的宽禁带半导体材料[J];材料导报;1993年06期
2	宋登元;;蓝色波段发光和激光二极管的新进展[J];半导体光电;1993年04期
3	陈伟;查病毒小验方测内存容量[J];电脑知识与技术;1994年01期
4	吴冲若;微机电系统[J];真空科学与技术学报;1995年02期
5	王添平,王效东,解健芳,谭淞生,王渭源;金属镍微型静电马达的初步研制[J];传感技术学报;1995年02期
6	高晓萍;美国微电子机械系统的研究计划[J];光机电信息;1995年02期
7	宋宗炎;固态传感器技术的新进展[J];测控技术;1995年01期
8	马华,朱清;电子技术与自动化(4)[J];自动化博览;1995年05期
9	尹宝林;MEMS中的CAD／CAE技术与系统结构[J];仪器仪表学报;1996年S1期
10	K.Bergman,童宗鉴;碳化硅——未来电力半导体材料[J];变流技术与电力牵引;1996年05期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	;STUDY OF METHODS FOR MEASURING MECHANICAL PROPERTIES OF THIN FILMS IN MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS(MEMS)[A];Proceedings of 1995 4th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology[C];1995年
2	贾玉斌;陈良惠;李玉璋;;一种微机械光开关理论分析[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
3	初建朋;郭方敏;赖宗声;;MEMS接触式开关的计算机模拟[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
4	丁玲;秦元菊;忻佩胜;茅惠兵;赖宗声;;用于微波/毫米波段的微机械电容式开关的结构研究[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
5	郭方敏;赖宗声;初建朋;;微型MEMS高频开关技术[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
6	孙道恒;;MEMS耦合场分析与系统级仿真[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
7	张文栋;李永红;刘俊;董海峰;;简易微型惯性测量组合技术及其应用[A];西部大开发科教先行与可持续发展——中国科协2000年学术年会文集[C];2000年
8	KLAUS SCH(?NEMANN;;Introduction to MEMSTIC[A];2000 25～(th) International Conference on Infrared and Millimeter Waves Conference Digest[C];2000年
9	廖波;林鸿溢;王越;;纳米硅薄膜场发射压力传感器研究[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
10	钮利荣;李拂晓;蒋幼泉;林金庭;刘庭华;章文勋;;Ku波段MEMS振荡辐射天线[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	于殿泓;紫外光快速成型技术及其应用研究[D];西安理工大学;2001年
2	席占稳;MEMS传感器及在引信中的应用研究[D];南京理工大学;2003年
3	石艳玲;硅基微波共平面波导传输特性及其在微波移相器中的应用研究[D];华东师范大学;2002年
4	于景荣;质子交换膜与MEMS微型燃料电池的研究[D];中国科学院研究生院（大连化学物理研究所）;2003年
5	罗元;光通信MEMS光开关关键技术的研究[D];重庆大学;2003年
6	蒋玉齐;高量程MEMS加速度计封装研究[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2004年
7	向民;基于MEMS技术的Fabry-Perot腔可调光学滤波器研究[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2004年
8	张正元;射频微机械开关与放大器关键技术研究[D];重庆大学;2004年
9	赵强;基于MEMS技术的微型泵的研究[D];中国科学院研究生院（电子学研究所）;2004年
10	谢海波;集成微泵式微流控芯片关键技术的研究[D];浙江大学;2004年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	刘金华;纳米硅薄膜场发射压力传感器特性研究[D];山东师范大学;2000年
2	董欣;新型硅基红外探测器的研制[D];北京工业大学;2000年
3	张雨燕;微结构热电偶波功率计设计与制造[D];中国科学院电子学研究所;2000年
4	赵洪策;桌面式微型工厂的建模和仿真与可视化关键技术研究[D];西北工业大学;2001年
5	李浩;小量程悬臂梁微机械压阻式加速度传感器研究[D];中国科学院上海冶金研究所;2001年
6	许金海;电容式压力微传感器及其无线测量系统[D];厦门大学;2001年
7	林胜勇;MEMS中多能量场耦合问题数值方法研究[D];西北工业大学;2001年
8	黎海文;微摩擦测试仪中微力传感器的研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2002年
9	者文明;微梁结构热偶微波功率传感器芯片的设计与制作[D];中国科学院研究生院（电子学研究所）;2002年
10	庞敏;MEMS层叠式微带贴片天线的建模、分析[D];重庆大学;2002年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	国泰君安证券研究所陈楷颐;二十一世纪新型建材展望[N];中国建材报;2000年
2	;首套自行设计制造电磁搅拌装置问世[N];中国冶金报;2000年
3	;非凡的纳米技术[N];中国质量报;2000年
4	卢敬叁;小尺寸丈量大世界[N];中国质量报;2000年
5	冰棱;于细微处显神通[N];厂长经理日报;2000年
6	本报记者李向林;纳米计算带来神奇[N];中国计算机报;2000年
7	江岩;MEMS传感器市场分析[N];科学时报;2000年
8	范茂军;传感器未来十五年发展[N];科学时报;2000年
9	金国藩周兆英;仪器仪表的微小化、集成化和智能化[N];科学时报;2000年
10	中国科学院院士方肇伦;抓住机遇全力攻关[N];科学时报;2000年

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