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阶梯悬臂梁式微机械隧道陀螺的计算机仿真

李文望  
【摘要】:介绍电子隧道效应在微机械陀螺仪中的应用,根据电子隧道效应的特点与要求提出了隧道陀螺仪的结构方案,利用ANSYS进行系统模态分析、静电-结构的耦合场分析及系统的性能分析。讨论了驱动电压的大小和频率、系统的机械灵敏度及隧道电流与隧道电极间隙的关系。

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