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扫描隧道显微镜振动补偿技术的研究

李梦超  傅星  胡小唐  
【摘要】:振动的影响是提高纳米测量精度的主要障碍,因此,抗振、隔振、振动补偿技术成为纳米测量领域的一大分支。本文从研究STM仪器对振动的敏感性出发,对基于隧道效应的纳米振动传感器的理论、技术及实现方法进行了初步的研究和探索,研制了传感器的样机模型,并进行了振动检测和振动补偿试验。结果表明,基于隧道效应的测振传感器具有很高的灵敏度、良好的频率特性和与STM仪器一致的振动响应特性。

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