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热压印制作微透镜阵列

胡晓峰  张鸿海  贺德建  范细秋  
【摘要】:本文介绍利用热压印技术制作微透镜阵列的方法,热压印是一种很有前景的聚合物材料结构和器件加工方法,这种方法利用制作的模板,在温度达到聚合物的玻璃转化温度之上后施加一定压力将模板压在聚合物样品上,使得模板结构转移到样品上来。根据热压印工艺步骤,我们设计、制造了一台热压印设备,并利用这台设备制作了256×256元8位相台阶衍射微透镜阵列,其单元微透镜口径大小为50μm,单元之间间距为60μm。经与光刻和离子束刻蚀工艺制作的微透镜阵列进行对比测试发现,制得的微透镜阵列图形结构的质量很好,并具有良好的光学性能。如能进一步改进模板的质量,将能制作性能更好的微透镜阵列。从制作工艺可以看出,利用热压印的方法制作微透镜阵列工艺简单,对制作设备和材料要求不高,并能达到很高的分辨率,为微透镜阵列等器件的制作提供了新的方法,为实现低成本、大批量制造创造了条件。热压印技术作为一种新兴的微、纳米结构和器件的制作技术,在光学、集成电路、生物和化学分析等器件的制造方面有着广阔的前景。

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