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平板式超声振子振动模态及其谐响应的有限元分析

唐勇军  王振龙  胡富强  赵万生  
【摘要】:平板式超声马达是一种利用压电晶体的逆压电效应获得驱动力矩的新原理微特电机,它与电磁作用获得转矩的电磁性电机的工作原理截然不同。本文主要分析了不同驱动频率对压电振子振型的影响,以及进行了谐响应分析。通过计算结果与实验的比较,证明有限元方法对于多种材料的,且具有驱动齿的超声波压电振子的振动分析是一种行之有效的方法。

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