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金属离子高温注入金属靶表面改性研究

常海威  陈涛  雷明凯  
【摘要】:本文报道了实验和理论研究金属离子高温注入金属靶表面改性结果。120kcV、5×1016、1×1017 cm-2的Al离子在室温到500℃注入Fe靶,X射线衍射仪(XRD)和Rutherford Backscattering Spectrometry(RBS)分析表明,靶温度的升高导致新相形成,进而影响注入粒子的传质行为,而注入剂量的增加导致局部温度升高,且提供更多的过剩空位促进粒子扩散。利用基于粒子与固体相互作用理论以及辐照增强扩散理论建立金属离子高温注入金属靶传质模型,计算了Al离子高温注入Fe靶的浓度一深度分布,计算结果与实验测量结果相符。

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