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电化学沉积DLC和CNx薄膜摩擦学性能的比较

陈刚  阎兴斌  刘惠文  徐洮  
【摘要】:分别利用甲醇和甲醇-尿素有机溶液作碳源,采用电化学沉积方法,在单晶硅表面沉积得到DLC和CNx薄膜。利用拉曼光谱、原子力显微镜和球盘摩擦磨损机考察了氮掺杂对DLC膜表面形貌、微观结构和摩擦学性能的影响。研究结果表明:氮元素的掺杂使得薄膜内部sp2-C键角的无序度增大,薄膜表面粗糙度增大;在干摩擦实验过程中,氮元素的掺杂明显延长了薄膜与对偶之间的初始磨合期,但同时又降低了薄膜的稳态摩擦系数。

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