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LIGA技术、准LIGA微加工技术及其应用

陈迪  蔡炳初  
【摘要】:LIGA技术是微机电系统(MEMS)的一种重要的微加工技术,介绍了LIGA、准LIGA技术的基本工艺、特点,以及在光学和光通讯、生命科学和医学、化学、微机械等领域中的应用。

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