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飞秒激光微纳米加工技术

王清月  张国雄  倪晓昌  
【摘要】:综述了飞秒激光的特点,利用飞秒激光进行微细加工的原理及其特色,飞秒激光加工的类型,及其在微电子学、微光学和微机械学中的应用,并介绍了天津大学超快激光实验室在飞秒激光微纳加工研究中取得的一些进展。

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9 本报特约通讯员 谷巍峰;术后视力:兵检中需关注的新问题[N];中国国防报;2008年
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