激光多普勒效应在MEMS运动测量中的应用研究

【摘要】：微电子机械系统MEMS中通常包含有可动构件(膜、梁、梳、面、弹簧等),研究其承受压力、弯曲等机械及热负荷性能的重要方法是测量其在各种条件下的运动量(振动、位移等)。提出一种MEMS构件微小振动、位移测量系统。采用外差法激光多普勒技术,通过对信号的频谱分析,确定了信号处理单元的适宜频带宽度。以锁相环频率跟踪器解决多普勒信号脱落、信噪比低等问题。对调相多普勒跟踪信号进行频率/电压转换,可以实时地得到被测的速度、位移、加速度、频率等参量。实现测量分辨力20nm。

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前20条

1	孙巍然,景晓冬,岳学;悬吊体系的振动测量和震害[J];港工技术;2000年03期
2	郝峰;王卫辉;;浅析激光振动测量技术[J];电脑知识与技术;2010年02期
3	林朝平;;机械振动测量的自动装置[J];试验技术与试验机;1988年05期
4	许建军;孔学东;李斌;师谦;;MEMS及微机械加速度计可靠性研究[J];电子产品可靠性与环境试验;2006年05期
5	陈光焱;王超;;微惯性开关设计技术综述[J];信息与电子工程;2009年05期
6	黄迪山;章林;傅慧燕;余光伟;;滚动轴承振动速度测量中的滤波器设计[J];轴承;2010年12期
7	刘青,邹广平,刘晓静;机电一体化技术的杰出成就:微电子机械系统[J];机电一体化;1998年01期
8	王钻开,宗登刚,陆德仁;高量程加速度计的力学性能分析[J];机械强度;2002年04期
9	李明勇,马轩祥,李玉龙,李斌,郭伟国,徐绯,赵令诚;振动测量的原理及其在口腔医学中的应用[J];医疗卫生装备;2003年01期
10	王权岱,段玉岗,丁玉成,卢秉恒,张亚军;基于微压印成形的三维微电子机械系统制造新工艺[J];西安交通大学学报;2005年09期
11	张文明;孟光;;MEMS可靠性与失效分析[J];机械强度;2005年06期
12	胡雪梅;王宏颖;;微电子机械系统的发展与应用[J];西安航空技术高等专科学校学报;2006年03期
13	向艳红;赵寿根;杨林华;;关于微小振动的激光多普勒测量[J];强度与环境;2009年06期
14	薛小红;;微电子机械系统及其加工工艺简述[J];技术与市场;2011年05期
15	陈文青;王兆鲁;;压—电组合网络在车辆试车振动测量中的应用[J];测试技术学报;1996年02期
16	朱峰,赵长德;加速度计测量大振幅运动的一种低成本方法[J];仪器仪表学报;2001年S1期
17	刘刚,田扬超,伊福庭,彭良强;同步辐射讲座第五讲微电子机械系统加工新方法——LIGA技术[J];物理;2002年11期
18	田文超,贾建援;MEMS粘附问题研究[J];仪器仪表学报;2003年S1期
19	李长青,王友钊,马永昌;基于嵌入式系统的双通道便携式振动测试分析仪的设计[J];工业控制计算机;2004年11期
20	郑金兴;高红帅;;虚拟仪器技术在切削力和振动测量中的应用[J];机械工程师;2006年05期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	杜振辉;蒋诚志;谢艳;钟莹;张国雄;陶知非;;激光多普勒效应在MEMS运动测量中的应用研究[A];全球化、信息化、绿色化提升中国制造业——2003年中国机械工程学会年会论文集（微纳制造技术应用专题）[C];2003年
2	黄建军;刘存;;改进超声波流量计性能的研究[A];中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集（下）[C];2001年
3	孙克豪;胡宇群;王立森;赵亚溥;;微电子机械系统的计算机辅助设计[A];“力学2000”学术大会论文集[C];2000年
4	张文慧;白福厚;寇福明;;TH9310便携式振动测量与分析仪在烧结风机上的应用[A];第十届全国设备监测与诊断技术学术会议论文集[C];2000年
5	朱峰;赵长德;;加速度计测量大振幅运动的一种低成本方法[A];中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集（上）[C];2001年
6	吝海锋;吕苗;杨拥军;师谦;郑锋;恩云飞;;MEMS电容式加速度计可靠性研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C];2005年
7	张锡义;涂苏龙;樊康旗;;纳米接触问题的连续方法建模与计算[A];第七届青年学术会议论文集[C];2005年
8	谭宜勇;赵新;卢桂章;;MEMS虚拟运行中的运动规律求解器[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C];2005年
9	何国田;廖昌荣;黄尚廉;宋莉;;一种新型的振动剪切干涉测量技术研究[A];2008中国仪器仪表与测控技术进展大会论文集（Ⅰ）[C];2008年
10	张志新;李锡林;贺世正;;锁相技术在可同步双转子系统动平衡测试中的应用[A];2008年全国振动工程及应用学术会议暨第十一届全国设备故障诊断学术会议论文集[C];2008年

中国博士学位论文全文数据库

前9条

1	余隽;微量热计的研制及微纳米薄膜比热测试与分析[D];大连理工大学;2006年
2	张秀峰;超短脉冲激光调制在时间高分辨光谱仪中应用的研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2005年
3	韩光平;微电子机械系统力学性能及尺寸效应研究[D];西安理工大学;2006年
4	王卫东;面向MEMS设计的微流体流动特性研究[D];西安电子科技大学;2007年
5	李梦超;基于隧道效应的纳米级振动检测理论与技术的研究[D];天津大学;2007年
6	冷长林;基于激光多普勒技术的微机电系统运动检测[D];天津大学;2007年
7	周吴;微加速度计的机电耦合特性及关键技术研究[D];西南交通大学;2010年
8	江东;基于磁悬浮效应的振动测试系统[D];哈尔滨理工大学;2011年
9	施益智;高灵敏磁力显微镜研制及其在18/20T低温强磁场中的实现[D];中国科学技术大学;2012年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	李蒙;基于DSP的便携式测振仪的研发[D];北京化工大学;2005年
2	林林;基于卡西米尔势能温度场的微电子机械系统性能研究[D];东北师范大学;2011年
3	李栋;陀螺转子动平衡机的研制[D];合肥工业大学;2006年
4	吴刚;基于ARM便携振动监测仪的WinCE移植和驱动开发[D];华北电力大学（北京）;2005年
5	赖秀娟;基于正弦相位调制的光栅干涉法测量振动物体面形的研究[D];南昌大学;2009年
6	张洪震;叉指式硅微机械加速度计设计与检测技术研究[D];国防科学技术大学;2006年
7	刘亚东;电场活化聚合物（DE）平面弯曲致动器设计[D];合肥工业大学;2009年
8	林伟俊;电容式微机械加速度传感器检测电路研究[D];浙江大学;2010年
9	汤忠斌;微电子机械系统材料力学性能测试方法的研究[D];西北工业大学;2004年
10	邸荻;振动式微机械陀螺的设计与仿真[D];国防科学技术大学;2005年

中国重要报纸全文数据库

前5条

1	成都青化;用锁相环制作的金属探测器[N];电子报;2003年
2	华生摘译;汽车泊车红外防护电路[N];电子报;2003年
3	浙江宁波张国鹏;NB7232角模开关电路[N];电子报;2003年
4	楚军;两款袖珍测振仪面世[N];中国船舶报;2006年
5	王智堂;测振仪在设备检测中的重要作用[N];中国有色金属报;2005年

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