W18Cr4V高速钢基体化掌握了相沉积TiN工艺理论研究
【摘要】：研究了气体总流量、沉积温度、TiCl_4蒸发温度、氮氢比等工艺参数对W18Cr4V高速钢基体TiN沉积速率的影响。确定了沉积过程分别为扩散控制区和表面过程控制区的实验条件。在表面过程控制区域,测定了本实验条件下W18Cr4V钢基体TiN化学相沉积的表面过程表观活化能值为137.23KJ/mol。
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