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扫描电镜测量微米级长度的不确定度评定

朱莉  王承忠  纪红玲  斯初阳  
【摘要】:扫描电镜作为测量微米级长度的工具,应用较为广泛。在对其测量不确定度评定的过程中涉及到如何对相关性输入量进行合成的问题,是一个非常典型的案例,对该测量过程中的不确定度来源进行了较为详细的分析,并最终给出评定结果。相关评定尚未见报道。

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