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脉冲激光蒸发熔融织构靶制备YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜

王天生  田永君  彭炜  胡文斐  李林  
【摘要】:用脉冲激光蒸发熔融织构靶材在SrTiO_3(001)单晶基片上制备了YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜。用X射线衍射仪、透射电镜和原子力显微镜分别对薄膜的微观结构和表面形貌进行了分析。结果表明,薄膜呈c轴取向,薄膜中有一定数量的颗粒状Y_2O_3杂相,且具有择优取向,而靶材中所含的Y_2BaCuO_8相却没有在薄膜中形成。沉积温度升高,有利于[001]取向,但不利于[111]取向的Y_2O_3形成。与传统的粉末烧结靶相比,用熔融织构靶制备YBa_2Cu_3O_(7-δ)薄膜可以明显抑制薄膜表面颗粒的形成。

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