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薄膜材料X射线衍射物相分析与内应力测定

姜传海  陈世朴  徐祖耀  
【摘要】:基于不对称布拉格反射理论,介绍了薄膜材料二维X射线衍射分析方法,并对铝合金表面的TiN薄膜进行了分层掠射分析,证实了该分析方法的可行性。结合掠射、侧倾、内标及交相关函数定峰等技术,改进了常规X射线应力测量方法,测量了上述薄膜中的内应力,表明可显著提高内应力测量精度。

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