薄膜材料X射线衍射物相分析与内应力测定

【摘要】：基于不对称布拉格反射理论,介绍了薄膜材料二维X射线衍射分析方法,并对铝合金表面的TiN薄膜进行了分层掠射分析,证实了该分析方法的可行性。结合掠射、侧倾、内标及交相关函数定峰等技术,改进了常规X射线应力测量方法,测量了上述薄膜中的内应力,表明可显著提高内应力测量精度。

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中国期刊全文数据库

前20条

1	张武;罗建;季铁正;蓝立文;林德宽;;显微激光分析仪及其在高分子中的应用[J];西北工业大学学报;1989年02期
2	陶文亮，吴望周，戴树和;蠕变内应力的测试与工程应用[J];贵州工业大学学报;1996年01期
3	黄劲松,章四琪,黄伯云,余志明;热循环对Ti(C,N)_p/Ni材料组织和力学性能的影响[J];中南工业大学学报(自然科学版);2002年03期
4	毛小南,周廉,周义刚,V.Ji,张鹏省,于兰兰;TiC颗粒增强钛基复合材料的内应力(英文)[J];稀有金属材料与工程;2004年04期
5	张丽珍,唐建生;环氧树脂复合材料制品内应力的形成和降低[J];广东科技;2004年05期
6	游敏,郑小玲,郑勇,余海洲;树脂基复合材料内应力测试与分析[J];复合材料学报;2004年04期
7	肖晓玲;;纳米多层膜的研究进展[J];材料研究与应用;2007年01期
8	夏德宏,吴永红,李树柯;薄膜材料的热辐射穿透深度研究[J];热科学与技术;2003年03期
9	孙志平,沈保罗;Pd基光学氢敏感薄膜材料的研究进展[J];稀有金属材料与工程;2004年08期
10	于志伟;谈国强;;溶胶-凝胶法制备薄膜[J];陶瓷;2006年10期
11	付迁;;用微米衡量的进步[J];中国发明与专利;2009年03期
12	刘剑;苗鸿雁;谈国强;贺中亮;;钛酸锶薄膜的液相自组装制备与表征[J];材料科学与工程学报;2009年02期
13	李彬;溶胶-凝胶薄膜科学与技术的由来和发展[J];材料导报;1992年06期
14	刘震云,王永瑞,黄伯云,曲选辉;薄膜材料结构信息测试方法比较[J];中国有色金属学报;1998年S2期
15	金雪文;镍酸镧导电金属氧化物薄膜材料的制备方法[J];红外;2002年09期
16	张华丽;张飞虎;;基于Nano Indenter的纳米刻划性能试验研究[J];机械与电子;2006年03期
17	李雪萍;丁桂甫;安藤妙子;式田光宏;佐藤一雄;;一种MEMS薄膜材料的力学性能测试方法[J];传感器与微系统;2007年02期
18	李言荣;;多元氧化物电子薄膜的单胞生长模式与界面应力诱导效应[J];功能材料信息;2007年05期
19	陈雷英;陈贵锋;赵勇明;白云娜;马晓薇;李养贤;;GaN薄膜材料TEM样品的制备[J];半导体技术;2008年S1期
20	冯树铭;;可热封聚酯薄膜(热封型PET)在香烟包装上的应用探讨[J];中国包装工业;2009年Z1期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	姜传海;陈世朴;徐祖耀;;薄膜材料X射线衍射物相分析与内应力测定[A];全国材料理化测试与产品质量控制学术研讨会论文专辑（物理测试部分）[C];2002年
2	潘颖;丁雁生;蔡瑞娇;;颗粒增强复合材料中内应力的细观力学模型[A];第十五届全国复合材料学术会议论文集（下册）[C];2008年
3	刘维民;翁立军;薛群基;;空间润滑薄膜材料与技术[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
4	刘兴隆;秦福文;陈伟绩;张东;周志峰;于博;支安博;姜辛;;不同铟组分的In_xGa_(1-x)N(0.1<x<0.56)薄膜材料的生长与研究[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
5	黄元龙;;溶胶-凝胶法浸渍薄膜的微开裂问题[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
6	刘吉延;马世宁;;超磁致伸缩薄膜低场性能及应用研究[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
7	刘吉延;马世宁;;超磁致伸缩薄膜低场性能及应用研究[A];第六届全国表面工程学术会议论文集[C];2006年
8	丁立平;刘渊;房喻;;具有亲水性微环境荧光薄膜的设计与制备[A];中国化学会第27届学术年会第13分会场摘要集[C];2010年
9	吕反修;;超硬薄膜材料研究现状与发展趋势[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
10	涂建军;;利用三种薄膜材料镀制超宽带减反膜[A];江苏、山东、河南、江西、黑龙江五省光学（激光）联合学术'05年会论文集[C];2005年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	苏峻峰;环境友好大豆分离蛋白共混薄膜材料研究[D];天津大学;2010年
2	洪波;电沉积铜薄膜中织构与内应力的研究[D];上海交通大学;2008年
3	韩景宾;层状结构无机—有机复合薄膜材料的组装及性能研究[D];北京化工大学;2011年
4	孙现众;几种薄膜材料的湿化学法制备及其性能的研究[D];清华大学;2011年
5	孙智勇;层状无机超分子材料取向薄膜的组装及性能研究[D];北京化工大学;2012年
6	刘利新;HfO_2基稀土掺杂纳米材料和石墨烯薄膜材料的制备及性能研究[D];兰州大学;2012年
7	刘美华;压痕硬度测试中的力学问题研究[D];天津大学;2007年
8	刘瑞;微结构材料力学性能的微拉伸系统与测试方法研究[D];上海交通大学;2009年
9	闫东鹏;无机/有机复合超分子层状光功能材料的组装及性能：实验与理论研究[D];北京化工大学;2012年
10	曾冬铭;氧化物发光薄膜材料的制备及表征[D];中南大学;2006年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	赵永林;Bi掺杂PST薄膜的制备及介电可调性能研究[D];浙江大学;2006年
2	陈玉莲;热蒸发法制备氧化锡薄膜的工艺研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
3	曹轲;基于程氏理论原子表面电子密度计算和薄膜内应力研究[D];河南科技大学;2011年
4	黄碧龙;含AlN纳米多层膜的生长结构和超硬机制研究[D];上海交通大学;2008年
5	王飞;三维有序亚微米结构薄膜材料的制备及其光学性质[D];北京化工大学;2010年
6	臧晓丹;湿化学法制备锗材料的研究[D];青岛科技大学;2010年
7	周泓;Forouhi-Bloomer方程在薄膜光学测量中的应用研究[D];复旦大学;2010年
8	贺燕萍;基于电沉积法制备镍纳米网状结构薄膜材料的研究[D];上海交通大学;2010年
9	涂亮亮;导电聚合物电致变薄膜材料研究[D];电子科技大学;2011年
10	徐世友;化学气相沉积法制备宽带硬质薄膜材料[D];浙江大学;2005年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	特约通讯员丁姗;探寻薄膜材料中的乾坤[N];江苏科技报;2009年
2	记者王秀兰;美国专用薄膜材料市场将快增[N];中国化工报;2009年
3	柯沿;我国科学家在纳米技术上又有新突破[N];中国乡镇企业报;2000年
4	郝喜海尹美林林益平;钢带流涎成型水溶性高分子薄膜的缺陷控制[N];中国包装报;2002年
5	李建国;厦门大学纳米结构组装低维功能材料实验室彭栋梁[N];科技日报;2007年
6	王迅;锆铪应用领域不断拓展[N];中国有色金属报;2007年
7	张孟军;神奇的多层薄膜材料[N];科技日报;2003年
8	江阴市产品质量监督检验所冯怡;样品选择对薄膜性能检测的影响[N];中国包装报;2010年
9	任干生;纳米电子陶瓷材料面市[N];中国电子报;2000年
10	;日开发调光镜玻璃用镁镍系合金薄膜[N];中国有色金属报;2003年

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