多功能离子注入技术及应用
【摘要】:正随着科学技术进步,对材料综合性能的要求越来越高,而材料表面处理技术已成为提高材料综合性能的重要手段。最近几年得到迅速发展的离子注入及增强沉积、脉冲式真空镀膜、微弧氧化表面陶瓷化等无论是技术本身还是应用都受到人们更加广泛的关注,并在许多方面逐渐获得了应用。如离子注入现已成为半导体微细加工不可缺少的重要加工手段,并不断地在许多精密关键和高附加值的工具模具及零部件获得应用;脉
【相似文献】 | ||
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||
|
【相似文献】 | ||
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||
|