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离子束复合真空镀膜机的研制和应用

朱启良  汪亮明  白玉兰  王锦辉  过骐千  
【摘要】:本文介绍一台用于汽轮机叶片表面强化的离子束复合镀膜生产设备.该设备配有三种大面积考夫曼离子源和两套磁控溅射系统,通过开发和实践证明该设备及其工艺具有广阔的应用前景。

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