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电子元器件失效分析新技术的发展与应用

何涛  刘春立  富大欣  
【摘要】:近年来国内外在电子元器件失效分析领域采用了一些新的分析技术和手段,如:热波显微镜和热波电子显微镜、超声显微镜、扫描遂道显微镜、原子力显微镜、弹道电子发射显微镜、光辐射显微镜以及电子束探针技术等,这些技术和手段的应用极大地推动了电子元器件失效分析技术的发展,使失效机理研究工作进一步深化。本文就上述这些新技术的发展、原理、特点和应用进行了综述和评价。

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