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硅片脱胶机的改进

许结刚  刘振淮  王仁杰  汪钉崇  
【摘要】:在自动脱胶机的清洗过程中,通过调整各工序的次序和增加新型化学药剂的方法,试验比较出一种方案:既能把硅片洗的比较干净又能脱胶彻底,且破片率低于0.2%。

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