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PECVD制备N掺杂类金刚石薄膜的光学特性

刘洪伶  木易  王明月  董婧  苑进社  
【摘要】:在ITO玻璃和普通玻璃上用PECVD技术制备掺N类金刚石薄膜,用XP-1台阶仪测量薄膜厚度,并用U4100分光光度计分析测试薄膜反射光谱与氮掺杂量的关系。实验表明,以普通玻璃为衬底的掺N类金刚石薄膜对不同波长的光的反射率随着N的含量的变化其反射率无变化;而以ITO玻璃为衬底的薄膜随着N掺杂量的增加,反射率的变化趋向于相对稳定。

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