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高频溅射法生长纳米硅薄膜

赵占霞  崔容强  赵百川  于化从  
【摘要】:纳米薄膜是具有纳米微结构的薄膜材料,具有卓越的光敏性和电子学特性,在量子器件及光电器件方面,有很好的应用前景,因而激发了人们的研究兴趣。纳米硅薄膜已经由多种方法成功地制得,如RF溅射方法和RF-PECVD方法。我们用高频溅射法进行了纳米硅薄膜的生长。文章中将用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)等方法对薄膜的特性进行了讨论。

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