以SiCl_4-H_2为源气体用PCVD方法低温快速生长晶化硅薄膜

黄锐魏俊红林璇英余云鹏林揆训余楚迎

【摘要】：以SiCl_4和H_2为气源,用等离子体化学气相沉积技术,通过控制和选择工艺条件,在小于300℃的低温下快速沉积晶化硅薄膜,沉积速率高达3(?)/s以上。本文研究沉积速率与工艺条件的依赖关系和对薄膜结晶度的影响。

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5	李存璞;王要武;谢晓峰;邓长生;尚玉明;杨裕生;;锂离子电池硅负极材料粉化问题研究进展[J];化工学报;2011年S1期
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11	;[J];;年期
12	;[J];;年期
13	;[J];;年期
14	;[J];;年期
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中国重要会议论文全文数据库

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1	张宇翔;冯团辉;杨仕娥;陈永生;李瑞;郭敏;;制备多晶硅薄膜的晶化方法[A];2004年中国生物质能技术与可持续发展研讨会论文集[C];2004年
2	黄锐;魏俊红;林璇英;余云鹏;林揆训;余楚迎;;以SiCl_4-H_2为源气体用PCVD方法低温快速生长晶化硅薄膜[A];21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集[C];2003年
3	曾祥斌;孙小卫;李俊峰;齐国钧;;电场增强金属诱导侧向晶化制备多晶硅薄膜和薄膜晶体管[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
4	冯团辉;张宇翔;杨仕娥;陈永生;王海燕;陈广顺;卢景霄;;α-Si:H薄膜固相晶化及结晶度的研究[A];科技、工程与经济社会协调发展——河南省第四届青年学术年会论文集（上册）[C];2004年
5	冯团辉;张宇翔;卢景霄;杨仕娥;陈永生;王海燕;;a-Si:H薄膜固相晶化过程中的可逆现象[A];2004年中国生物质能技术与可持续发展研讨会论文集[C];2004年
6	曾祥斌;孙小卫;李俊峰;齐国钧;;金属诱导晶化的实时电阻测量与监控[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
7	郭群超;耿新华;张建新;张德坤;孙建;任慧志;吴春亚;;硅薄膜P型掺杂特性的研究[A];21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集[C];2003年
8	蒋向东;张怀武;文歧业;钟智勇;杨争;唐晓莉;;CoNbZr非晶软磁薄膜晶化动力学研究[A];第四届全国磁性薄膜与纳米磁学会议论文集[C];2004年
9	周之斌;丁正明;崔容强;胡宏勋;孙铁囤;徐秀琴;陈东;;ITO薄膜:从(400)到(222)择优晶化[A];中国第六届光伏会议论文集[C];2000年
10	钟立志;张维佳;吴小文;何宇亮;;纳米硅薄膜及其太阳电池研究进展[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年

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9	陈立宝;锂离子电池高容量硅基薄膜负极材料的研究[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2007年
10	杨超;ZrTiCuNiBe大块金属玻璃的冲击波效应研究[D];燕山大学;2006年

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前10条

1	陈一匡;铝诱导非晶硅薄膜的场致低温快速晶化[D];汕头大学;2004年
2	黄创军;以SiCl_4为气源用PECVD方法低温沉积多晶硅薄膜[D];汕头大学;2001年
3	刘滨;热丝化学气相沉积制备硅薄膜及其性能研究[D];兰州大学;2010年
4	张乾;硅薄膜的PECVD制备及其结构研究[D];河北工业大学;2009年
5	周军连;FRAM用铁电薄膜的制备与性能研究[D];电子科技大学;2004年
6	黄香平;硅薄膜微结构及悬挂键缺陷研究[D];中南大学;2010年
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8	王晓泉;太阳电池用氮化硅薄膜及氢钝化研究[D];浙江大学;2003年
9	张春丽;介质阻挡放电增强热丝CVD沉积硅薄膜的研究[D];大连理工大学;2011年
10	刘金华;纳米硅薄膜场发射压力传感器特性研究[D];山东师范大学;2000年

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前10条

1	本报记者沈俊霖本报通讯员孙旭光;海晶化工：将节电进行到底[N];青岛日报;2008年
2	记者刘其丕;硅薄膜电池研究获“973”立项[N];中国有色金属报;2006年
3	;将硅薄膜光伏气体供应延伸到最终使用点[N];中国电子报;2009年
4	胡云昌;涪陵建陶晶化石项目在重庆市通过鉴定[N];中国建材报;2006年
5	本报记者张晓英　通讯员刘相华;硅薄膜太阳能发电成本有望下降[N];农民日报;2008年
6	胡云昌;韩华晶化石文化提升执行力[N];中国建材报;2005年
7	胡云昌;涪陵建陶晶化石项目通过鉴定[N];中华建筑报;2006年
8	林德电子亚洲太阳能市场发展部经理陈慧玲;气体供应对硅薄膜电池制造及成本控制至关重要[N];中国电子报;2009年
9	记者蒋心和;硅薄膜太阳电池基地落沪[N];解放日报;2007年
10	吴小福;微晶玻璃陶瓷复合板双曲线晶化烧结精确控制工艺[N];广东建设报;2005年

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