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微晶硅薄膜电输运各向异性的研究

刘丰珍  朱美芳  汪六九  韩一琴  
【摘要】:采用热丝技术,通过改变氢稀释度获得不同晶态比的微晶硅薄膜,对薄膜的直流共面电导和交流夹心电导测量表明,在晶态比0.43X_c0.8范围,薄膜电输运具有明显的各向异性,当X_c0.8时,各向异性减弱。讨论了薄膜结构与输运各向异性之间的关系。

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