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纳米硅薄膜的制备及其特性

赵占霞  崔容强  周之斌  M-H-Gullanar  孟凡英  陈凤翔  
【摘要】:正二十世纪九十年代诞生并迅速发展起来纳米技术,是一门在0.1nm—100nm尺度空间研究物质性质、及相关应用的新技术,因其具有深的应用潜力而得到了广泛关注并在许多领域得到了迅猛发展.纳米薄膜是具有纳米微结构的薄膜材料,其厚度可从几纳米到100纳米,纳米晶硅薄膜具有卓越的光敏性和电子学特性,其电导率可以提高6个数量级,光

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