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磁控溅射氮化硅薄膜的特性及其在太阳电池上的应用

衡阳  许颖  李仲明  于元  
【摘要】:正常规单晶硅侈晶硅太阳电池占据着当今光伏市场80%以上的份额.如何使其效率从目前水平(12-14%)进一步提高是一个迫切的课题.要进一步提高效率,很重要的研究方向就是减反射膜及表面钝化作用的改进.氮化硅的折射率为19-20,在各种单层减反射膜中,与达到最佳减反射效果的折射率最相符:同时,采用等离子体化学气相沉积

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