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太阳电池烧穿工艺对氮化硅薄膜的光学性质的影响

周之斌  赵占霞  陈凤祥  古丽娜  孟凡英  崔容强  
【摘要】:正在最近十年,晶体硅太阳能电池(单晶、多晶)的光电转换效率有了很大的提高,工艺技术上的关键改进之一是:采用了氮化硅作为光学减反射层,同时氮化硅薄膜对硅太阳能电池的表面有很好的钝化作用,可显著提高电池的短路电流和开路电压.具体工艺中,必需把

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