收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

ITO薄膜:从(400)到(222)择优晶化

周之斌  丁正明  崔容强  胡宏勋  孙铁囤  徐秀琴  陈东  
【摘要】:采用超声波喷涂CVD工艺在石英和硅片衬底上沉积出不同择优晶化的ITO(掺Sn的In_2O3)薄膜。从300℃到550℃,选择衬底温度,可获得晶面(400)或晶面(222)或二者兼顾的平行于衬底的优化取向ITO薄膜,并采用Van der Pauw方法和XPS技术,研究了与择优晶化有关的薄膜的电学性质和结合能。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 张康候,刘佐权;在远低于(Tg)温度下Cu—Zr金属玻璃的选择氧化和晶化[J];云南大学学报(自然科学版);1983年Z1期
2 于金库,冯皓,邢广忠,邵光杰,沈德久,王玉林;大冷变形对化学镀Ni-Sn-P非晶态合金晶化的影响[J];人工晶体学报;1998年02期
3 傅军,林吉,王林茂,邓广强!测试中心海南海口571158;化学沉淀法制备纳米SnO_2晶化特征的穆斯堡尔谱分析[J];海南大学学报(自然科学版);2000年02期
4 周增均,童莉泰,王桂芝;淬态非晶带晶化的观察[J];北京大学学报(自然科学版);1983年05期
5 张康侯,周月华,赵怀志,陈藜莉;Ag_xCu_(50-x)Zr_(50)非晶态合金及其晶化[J];物理学报;1988年06期
6 冯桃,李殿卿,EvansD.G.,段雪;水滑石晶体长厚比及晶粒尺寸控制方法研究[J];无机化学学报;2002年11期
7 于丹;代玉银;;Co基非晶的形成和晶化[J];中国西部科技;2010年15期
8 何宇亮,沈宗雍,颜永红;G.D.非晶硅薄膜的晶化特性[J];科学通报;1982年17期
9 柴璋,张金平,梁敬魁;3BaO·3B_2O_3·2GeO_2非晶体晶化过程的研究[J];物理学报;1987年05期
10 沈德久,沈中毅,吴浩泉,殷岫君;压力对金属玻璃Zr_(70)Cu_(30)晶化温度和激活能的影响[J];高压物理学报;1993年02期
11 杜开瑛,饶海波;由低温退火轻掺杂控制a-Si:H膜的固相晶化成核[J];物理学报;1994年06期
12 张怀武;非均匀晶化Bi和Ba代替DyIG膜的法拉第效应研究[J];应用光学;1994年01期
13 张庶元,陈志文,谭舜,朱警生,李凡庆,吴自勤;Pd,Ge薄膜体系中的分形晶化行为[J];物理学报;1996年01期
14 肖兴成,江伟辉,田静芬,宋力昕,胡行方;高温处理对CN_x薄膜晶化的影响[J];物理学报;2000年01期
15 刘惠莲,左云彤,郑晓光,华中;非晶合金Fe_(50)Ti_(50)晶化行为的研究[J];松辽学刊(自然科学版);2002年01期
16 周效锋;王鹏飞;;SHPB技术在材料动态加载相变行为研究方面的拓展[J];曲靖师范学院学报;2010年06期
17 张人佶,褚圣麟,吴自勤;Ge/Au,Ge/Ag双层膜和Ge-Au,Ge-Ag合金膜中非晶Ge的晶化[J];物理学报;1986年03期
18 林光明,周岐发,张进修,郑裕芳;溶胶乳化法制备纳米SnO_2的晶化及其颗粒特性[J];中山大学学报(自然科学版);1996年01期
19 周效锋,刘应开,刘佐权,李德修;Fe_(73.5)Cu_1Nb_3B_9Si_(13.5)非晶态合金的激波纳米晶化研究[J];物理学报;1999年11期
20 廖家轩,杨传仁,张继华,陈宏伟,符春林,唐章东,冷文建;射频磁控溅射Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3薄膜表层结构研究[J];四川大学学报(自然科学版);2005年S1期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 周之斌;丁正明;崔容强;胡宏勋;孙铁囤;徐秀琴;陈东;;ITO薄膜:从(400)到(222)择优晶化[A];中国第六届光伏会议论文集[C];2000年
2 许生;颜远全;;ITO薄膜性能及制成技术的发展[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
3 季一勤;宋洪君;洪伟;;ITO薄膜的温度特性[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
4 蒋向东;张怀武;文歧业;钟智勇;杨争;唐晓莉;;CoNbZr非晶软磁薄膜晶化动力学研究[A];第四届全国磁性薄膜与纳米磁学会议论文集[C];2004年
5 方玲;庄大明;吴敏生;赵大庆;;ITO薄膜组织结构与光电性能的关系研究[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
6 张宇翔;冯团辉;杨仕娥;陈永生;李瑞;郭敏;;制备多晶硅薄膜的晶化方法[A];2004年中国生物质能技术与可持续发展研讨会论文集[C];2004年
7 王家邦;杨辉;茅宇雄;陈桂华;王立旺;;工业性硅铝凝胶晶化特性研究[A];全国第三届溶胶—凝胶科学技术学术会议论文摘要集[C];2004年
8 陈岁元;刘常升;张纪良;国玉军;才庆魁;;CO_2激光诱导非晶Fe_(73.5)Cu_1Nb_3Si_(13.5)B_9合金表面晶化研究[A];2002年材料科学与工程新进展(下)——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
9 于振瑞;YasuhiroMatsumoto;;掺杂浓度对a-Si:H薄膜低温铝诱导晶化的影响[A];中国第六届光伏会议论文集[C];2000年
10 简余良;孙彤;邵力为;孙平;;PbO气氛对ITO薄膜电极导电性能的影响研究[A];华东三省一市第三届真空学术交流会论文集[C];2000年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王刚;高品质a-Si:H TFT-LCD阵列设计与工艺研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
2 王晨;纳米复合Nd_2Fe_(14)B/α-Fe永磁材料微结构和磁性能研究[D];浙江大学;2006年
3 谢俊;钙铝硅系统微晶玻璃结构与内应力关系的研究[D];武汉理工大学;2007年
4 谢华;Ni-P-金刚石化学复合镀镀层的组织结构与性能[D];中南大学;2002年
5 付艳恕;块体非晶复合材料爆炸焊接冲击动力学问题研究及其实验制备[D];南京理工大学;2009年
6 杨超;ZrTiCuNiBe大块金属玻璃的冲击波效应研究[D];燕山大学;2006年
7 李世涛;透明导电ITO及其复合薄膜的研究[D];华中科技大学;2006年
8 何波;新型硅基SINP异质面蓝紫光电池及SIS异质结光电器件的研究[D];上海大学;2010年
9 李蕾;类水滑石材料新制备方法及结构与性能的理论研究[D];北京化工大学;2002年
10 李刚;Zr基非晶合金激光熔覆与诱导自蔓延合成[D];大连理工大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王树林;ITO薄膜的制备及性能研究[D];武汉理工大学;2004年
2 周军连;FRAM用铁电薄膜的制备与性能研究[D];电子科技大学;2004年
3 李晶;ITO透明导电薄膜的溶胶凝胶法制备及工艺研究[D];中南大学;2004年
4 韩淋;液晶可变光衰减器透明导电电极材料的制作与器件工艺的研究[D];吉林大学;2005年
5 王岩;强磁场中非晶晶化组织与性能研究[D];大连理工大学;2004年
6 吴世华;铟锡醇盐的合成及ITO薄膜溶胶-凝胶法制备技术研究[D];昆明理工大学;2001年
7 李霞;Zr基大块非晶合金弛豫和晶化过程研究[D];大连理工大学;2002年
8 任招娣;铝基非晶合金的非晶形成能力及热稳定性分析[D];兰州理工大学;2005年
9 杜学山;块状非晶合金腐蚀行为的研究[D];郑州大学;2005年
10 段璎垿;快淬钕铁硼磁粉制备工艺和磁性能的研究[D];浙江大学;2005年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 本报记者 沈俊霖本报通讯员 孙旭光;海晶化工:将节电进行到底[N];青岛日报;2008年
2 胡云昌;涪陵建陶晶化石项目在重庆市通过鉴定[N];中国建材报;2006年
3 胡云昌;韩华晶化石文化提升执行力[N];中国建材报;2005年
4 胡云昌;涪陵建陶晶化石项目通过鉴定[N];中华建筑报;2006年
5 吴小福;微晶玻璃陶瓷复合板双曲线晶化烧结精确控制工艺[N];广东建设报;2005年
6 记者刘其丕 李晓飞;二氧化钛晶化液项目在津投产获专利[N];中国有色金属报;2010年
7 本报记者 沈俊霖;海晶化工开启“离子膜烧碱时代”[N];青岛日报;2007年
8 本报记者 沈俊霖;海湾集团:上半年“全线飘红”[N];青岛日报;2007年
9 本报记者 杨扬 特约记者 邹铁军;海晶何以赢得市场[N];中国化工报;2002年
10 本报记者 霍峰;青岛海晶的“循环经”[N];青岛日报;2006年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978