收藏本站
收藏 | 论文排版

于振瑞YasuhiroMatsumoto  
【摘要】:本文报道一种新的多晶硅( Poly-Si)薄膜材料制备方法-AIC法,研究寝材料的掺杂浓度对晶化效果的影响。结果证明:在250℃下可以在玻璃基底上生长出具有较大晶粒尺寸的薄膜Poly-Si材料,材料具有较好的电学性能。初始材料的掺杂浓度(B)对晶化效果有较大的影响:随着掺杂浓度的增加,晶粒尺寸、电阻率及迁移率均减小。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 张康候,刘佐权;在远低于(Tg)温度下Cu—Zr金属玻璃的选择氧化和晶化[J];云南大学学报(自然科学版);1983年Z1期
2 于金库,冯皓,邢广忠,邵光杰,沈德久,王玉林;大冷变形对化学镀Ni-Sn-P非晶态合金晶化的影响[J];人工晶体学报;1998年02期
3 傅军,林吉,王林茂,邓广强!测试中心海南海口571158;化学沉淀法制备纳米SnO_2晶化特征的穆斯堡尔谱分析[J];海南大学学报(自然科学版);2000年02期
4 周增均,童莉泰,王桂芝;淬态非晶带晶化的观察[J];北京大学学报(自然科学版);1983年05期
5 张康侯,周月华,赵怀志,陈藜莉;Ag_xCu_(50-x)Zr_(50)非晶态合金及其晶化[J];物理学报;1988年06期
6 冯桃,李殿卿,EvansD.G.,段雪;水滑石晶体长厚比及晶粒尺寸控制方法研究[J];无机化学学报;2002年11期
7 于丹;代玉银;;Co基非晶的形成和晶化[J];中国西部科技;2010年15期
8 何宇亮,沈宗雍,颜永红;G.D.非晶硅薄膜的晶化特性[J];科学通报;1982年17期
9 柴璋,张金平,梁敬魁;3BaO·3B_2O_3·2GeO_2非晶体晶化过程的研究[J];物理学报;1987年05期
10 沈德久,沈中毅,吴浩泉,殷岫君;压力对金属玻璃Zr_(70)Cu_(30)晶化温度和激活能的影响[J];高压物理学报;1993年02期
11 杜开瑛,饶海波;由低温退火轻掺杂控制a-Si:H膜的固相晶化成核[J];物理学报;1994年06期
12 张怀武;非均匀晶化Bi和Ba代替DyIG膜的法拉第效应研究[J];应用光学;1994年01期
13 张庶元,陈志文,谭舜,朱警生,李凡庆,吴自勤;Pd,Ge薄膜体系中的分形晶化行为[J];物理学报;1996年01期
14 肖兴成,江伟辉,田静芬,宋力昕,胡行方;高温处理对CN_x薄膜晶化的影响[J];物理学报;2000年01期
15 刘惠莲,左云彤,郑晓光,华中;非晶合金Fe_(50)Ti_(50)晶化行为的研究[J];松辽学刊(自然科学版);2002年01期
16 周效锋;王鹏飞;;SHPB技术在材料动态加载相变行为研究方面的拓展[J];曲靖师范学院学报;2010年06期
17 张人佶,褚圣麟,吴自勤;Ge/Au,Ge/Ag双层膜和Ge-Au,Ge-Ag合金膜中非晶Ge的晶化[J];物理学报;1986年03期
18 林光明,周岐发,张进修,郑裕芳;溶胶乳化法制备纳米SnO_2的晶化及其颗粒特性[J];中山大学学报(自然科学版);1996年01期
19 周效锋,刘应开,刘佐权,李德修;Fe_(73.5)Cu_1Nb_3B_9Si_(13.5)非晶态合金的激波纳米晶化研究[J];物理学报;1999年11期
20 廖家轩,杨传仁,张继华,陈宏伟,符春林,唐章东,冷文建;射频磁控溅射Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3薄膜表层结构研究[J];四川大学学报(自然科学版);2005年S1期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 于振瑞;YasuhiroMatsumoto;;掺杂浓度对a-Si:H薄膜低温铝诱导晶化的影响[A];中国第六届光伏会议论文集[C];2000年
2 白凌云;向军淮;雷明凯;;Er~(3+)掺杂浓度对掺Er~(3+):TiO_2粉末结构及其光致发光特性的影响[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(1)[C];2007年
3 程小劲;徐剑秋;;端面抽运的Tm:YAP薄片板条激光器的研究[A];2008年激光探测、制导与对抗技术研讨会论文集[C];2008年
4 王燕;涂朝阳;游振宇;李坚富;朱昭捷;;Er及其共掺敏化离子Gd_3Ga_5O_(12)晶体生长及其性能的研究[A];第15届全国晶体生长与材料学术会议论文集[C];2009年
5 李家成;袁新强;范有余;冯际田;胡和方;干福熹;;组成和掺杂浓度对掺铒TeO_2-WO_3-ZnO玻璃光谱性质的影响[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
6 陈炜;;300~#反应堆单晶硅掺杂质量控制[A];第四届北京核学会核应用技术学术交流会论文集[C];2006年
7 许雪梅;吴爱军;吴建好;王华;李维;刘茜倩;叶俊华;;掺杂情况下多层有机电致发光器件复合区域研究[A];2007高技术新材料产业发展研讨会暨《材料导报》编委会年会论文集[C];2007年
8 孟庆裕;陈宝玖;赵晓霞;王晓君;许武;;Y_2O_3:Ln(Ln=Eu或Tb)纳米发光材料紫外激发性质研究[A];第11届全国发光学学术会议论文摘要集[C];2007年
9 蒋向东;张怀武;文歧业;钟智勇;杨争;唐晓莉;;CoNbZr非晶软磁薄膜晶化动力学研究[A];第四届全国磁性薄膜与纳米磁学会议论文集[C];2004年
10 周之斌;丁正明;崔容强;胡宏勋;孙铁囤;徐秀琴;陈东;;ITO薄膜:从(400)到(222)择优晶化[A];中国第六届光伏会议论文集[C];2000年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王晨;纳米复合Nd_2Fe_(14)B/α-Fe永磁材料微结构和磁性能研究[D];浙江大学;2006年
2 谢俊;钙铝硅系统微晶玻璃结构与内应力关系的研究[D];武汉理工大学;2007年
3 谢华;Ni-P-金刚石化学复合镀镀层的组织结构与性能[D];中南大学;2002年
4 王兴军;稀土掺杂氧化铝结构对光致发光特性的影响研究[D];大连理工大学;2005年
5 杨涛;非水性sol-gel法合成稀土掺杂氧化铝的光致发光增强机制研究[D];大连理工大学;2007年
6 王海强;光催化氧化结合液相吸收处理氮氧化物的研究[D];浙江大学;2007年
7 付艳恕;块体非晶复合材料爆炸焊接冲击动力学问题研究及其实验制备[D];南京理工大学;2009年
8 王淑芬;几种氧(硫)化物纳米材料的制备及发光性质的研究[D];山东大学;2006年
9 爱可可;TiO_2纳米薄膜电极对染料溶液的降解行为[D];上海大学;2008年
10 潘志军;热电材料的电子结构研究—掺杂对单晶材料热电性能的影响[D];上海交通大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 周军连;FRAM用铁电薄膜的制备与性能研究[D];电子科技大学;2004年
2 王岩;强磁场中非晶晶化组织与性能研究[D];大连理工大学;2004年
3 李霞;Zr基大块非晶合金弛豫和晶化过程研究[D];大连理工大学;2002年
4 任招娣;铝基非晶合金的非晶形成能力及热稳定性分析[D];兰州理工大学;2005年
5 杜学山;块状非晶合金腐蚀行为的研究[D];郑州大学;2005年
6 段璎垿;快淬钕铁硼磁粉制备工艺和磁性能的研究[D];浙江大学;2005年
7 徐勇;Zr-Cu非晶合金薄膜的制备及其晶化过程研究[D];燕山大学;2006年
8 吴俊;卟啉掺杂MEH-PPV及PVK发光性能研究[D];浙江大学;2006年
9 王志强;掺杂及未掺杂二氧化锡纳米微粒的制备及性能研究[D];河南大学;2008年
10 姜静;掺稀土磷酸盐玻璃陶瓷材料的研究[D];长春理工大学;2008年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 本报记者 沈俊霖本报通讯员 孙旭光;海晶化工:将节电进行到底[N];青岛日报;2008年
2 胡云昌;涪陵建陶晶化石项目在重庆市通过鉴定[N];中国建材报;2006年
3 胡云昌;韩华晶化石文化提升执行力[N];中国建材报;2005年
4 胡云昌;涪陵建陶晶化石项目通过鉴定[N];中华建筑报;2006年
5 吴小福;微晶玻璃陶瓷复合板双曲线晶化烧结精确控制工艺[N];广东建设报;2005年
6 记者刘其丕 李晓飞;二氧化钛晶化液项目在津投产获专利[N];中国有色金属报;2010年
7 本报记者 沈俊霖;海晶化工开启“离子膜烧碱时代”[N];青岛日报;2007年
8 本报记者 沈俊霖;海湾集团:上半年“全线飘红”[N];青岛日报;2007年
9 本报记者 杨扬 特约记者 邹铁军;海晶何以赢得市场[N];中国化工报;2002年
10 本报记者 霍峰;青岛海晶的“循环经”[N];青岛日报;2006年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978