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光纤微机械集成麦克风研究

刘德文  肖文  李瑞  
【摘要】:本文介绍了一种采用半导体刻蚀的微机械结构反射式光纤传感器,由其感受声音讯号,采用光纤将光投射到该结构上,其随声讯号产生振动,改变了光纤端面和微机械结构之间的距离,从而改变了进入接收光纤的光功率,实现了声音对光的调制,同时从理论上分析了光强调制的原理,并对研制的光纤麦克风系统进行了测试。

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