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MEMS光开关阵列扩展性的研究

罗元  胡章芳  
【摘要】:在MEMS光开关阵列设计中,扩展性是一项非常重要的指标。本文通过对MEMS光开关微镜的耦合损耗问题的分析,研究了决定MEMS光开关扩展性的因素,认为耦合结构中的角度失配是影响MEMS光开关阵列扩展性的关键。

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