硅微电容式超声换能器谐振频率的有限元分析

【摘要】：本文运用有限元方法计算了硅微电容式超声换能器(cMUT)的谐振频率,并考虑了实际换能器振动膜制备有电极薄膜的情况,分别计算了具有不同厚度的金电极和铝电极的振动膜的谐振频率,分析了电极对于谐振频率的影响,对cMUT的设计有一定的辅助意义。

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前20条

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3	王华军;李东;王艳林;;零相位法石英晶片测试仪设计与实现[J];仪器仪表标准化与计量;2006年02期
4	李艳宁;李树民;郭彤;房轩;傅星;胡小唐;;基于微梁谐振原理的相对湿度检测技术[J];纳米技术与精密工程;2007年02期
5	周刚;李青;李正宇;李强;;热声发动机径向尺寸对谐振频率的影响[J];声学技术;2007年04期
6	何高法;唐一科;何晓平;刘世明;;一种新型谐振式微加速度计设计和分析[J];微纳电子技术;2007年Z1期
7	温厚林;王星;徐腊元;;谐波在电力安全中的影响[J];电气应用;2007年10期
8	李熳;;基于Matlab/Simulink的电容组控制系统建模与仿真[J];电脑知识与技术;2009年01期
9	李艳宁;李雯;任平;郭彤;鄢志丹;傅星;胡小唐;;压电微悬臂梁振动能量采集器谐振频率和功率的研究[J];天津大学学报;2009年04期
10	林广义;汪传生;;透镜式压电陶瓷激波发生器压电分析及试验研究[J];机械设计与制造;2009年06期
11	张万荣;黄莹;苟锐锋;孙伟;任军辉;王蔚华;;±800kV特高压直流工程直流滤波器设计关键问题研究[J];南方电网技术;2009年06期
12	姜永志;;消谐电抗电容器补偿系统在变电所中的应用[J];玻璃纤维;2010年01期
13	罗兵;董春生;吴美平;李湘;;石英音叉陀螺等效参数的测量与分析[J];压电与声光;2010年01期
14	戴训江;晁勤;樊艳芳;;基于阻尼谐振的光伏并网逆变器谐波补偿控制[J];电力自动化设备;2011年01期
15	龙涛元;熊宇;晏华成;;压电陶瓷变压器在开关电源的应用分析[J];山西电子技术;2010年04期
16	李志强;;国电宁夏平罗光伏电站预防孤岛效应的研究[J];宁夏电力;2010年06期
17	刘新;马麟;王时英;梁国星;;超声珩齿加工工件对谐振频率影响的研究[J];机械工程与自动化;2011年02期
18	周建发;杨贵玉;;一种MEMS谐振梁的热弹阻尼分析[J];仪表技术与传感器;2009年S1期
19	张钊;国产1.2米迴旋加速器D电路高频电压和谐振频率的自动稳定[J];原子能科学技术;1966年07期
20	紫外;;简易金属搜索仪[J];仪表技术与传感器;1978年03期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	郝震宏;汤亮;乔东海;;硅微电容式超声换能器谐振频率的有限元分析[A];2009’中国西部地区声学学术交流会论文集[C];2009年
2	郝震宏;汤亮;乔东海;;偏置电压对硅微电容超声换能器频率的影响分析[A];2010’中国西部声学学术交流会论文集[C];2010年
3	胡忠军;李正宇;李青;周刚;李强;;串列热驱热声制冷机的发展[A];第九届全国低温工程大会论文集[C];2009年
4	赵杏文;曹远洪;刘勇军;安芳芳;;用于星载铷钟的微波腔研制[A];2009全国时间频率学术会议论文集[C];2009年
5	叶焱;刘太君;曾兴斌;何加铭;;基于腔体微扰技术的ISM5.8GHz频段介质复介电常数测量[A];2007年全国微波毫米波会议论文集（下册）[C];2007年
6	焦敬品;张强;吴斌;何存富;;机械结构微间隙超声测量方法研究[A];第十二届全国实验力学学术会议论文摘要集[C];2009年
7	刘维兵;买买提明·艾尼;陈开银;昝亮亮;刘恒;景敏卿;虞烈;王铁军;;周期性对称支承板机座的模态分析[A];中国力学学会学术大会'2009论文摘要集[C];2009年
8	殷国平;崔占忠;徐立新;陈方;;弹壳静电分布对引信微带天线性能的影响[A];中国物理学会静电专业委员会第十二届学术年会论文集[C];2005年
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10	王炳辉;;1-3压电复合材料的有限元分析计算[A];2009年全国水声学学术交流暨水声学分会换届改选会议论文集[C];2009年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

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4	王英;固态高频LLC电压型感应加热谐振逆变器研究[D];浙江大学;2005年
5	侯建强;小型天线与金属腔体及人体头颅的耦合谐振分析及应用研究[D];西安电子科技大学;2010年
6	秦雷;宽波束水声发射换能器研究[D];北京邮电大学;2010年
7	武剑;原油防蜡降粘超声波处理系统的关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
8	李学生;微型声频定向系统理论及关键技术研究[D];电子科技大学;2012年
9	胡海荣;1，4-二氟丁二烯异构化机理的理论研究[D];四川大学;2002年
10	郭海训;大力矩高精度超声波电机的基础研究[D];浙江大学;2002年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	李祖胜;基于谐振频率自动识别的超声波电源研究[D];苏州大学;2011年
2	王磊;基于扫频法电容电流测量装置的研制[D];东北电力大学;2006年
3	汪晖;介质谐振器天线及其阵列研究[D];南京理工大学;2008年
4	李兵;小型热声转换系统直线发电机设计及运行分析[D];沈阳工业大学;2010年
5	赵君超;微波谐振腔测湿系统的研究[D];华北电力大学（河北）;2006年
6	吉德三;压电陶瓷—金属双迭片弯曲型压电传感器谐振频率研究[D];华中科技大学;2005年
7	刘峰;压电式骨传导听觉装置的研究[D];吉林大学;2007年
8	范兴凯;微带天线的小型化多频段研究[D];山东大学;2008年
9	罗毅成;经纬仪跟踪转台模型的辨识[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2005年
10	王平;纳机电系统中气体吸附解吸附问题研究[D];东南大学;2005年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	山东李广文;简易LC谐振频率测试仪[N];电子报;2000年
2	广西梁杰南;计算LC谐振频率的简便方法[N];电子报;2002年
3	江苏沈亦飞;工业设备谐振回路工作频率测定简法[N];电子报;2003年
4	成都王定勇;自制二分频家用音箱[N];电子报;2009年
5	线择;怎样选择音箱线[N];经济信息时报;2000年
6	王竹青;更换晶振修网卡[N];电脑报;2002年
7	新疆韩军春王德祥;GF5027A（B）T型干线放大器电源工作原理及故障检修[N];电子报;2004年
8	成都青化;压电薄膜振动传感器[N];电子报;2008年
9	张国光;交联聚乙烯电缆的交流耐压试验[N];中国电力报;2004年
10	何小明;宽带通信滤波器工艺开发和应用[N];中国电子报;2002年

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