单晶硅电容式低频传声器的设计和制作

【摘要】：本文提出了一种新型低频电容传声器的结构,并具体阐述了其理论建模及制作工艺。该电容式低频传声器采用各向异性体刻蚀单晶硅作为振动膜,具有低频灵敏度高、频率响应平坦的特点。通过声电等效电路建模,对该传声器性能进行了理论分析,并根据理论分析结果对传声器结构进行设计和优化。测试结果和理论计算的符合程度很好。总之,采用该结构的低频电容式传声器制备简便、性能优异,可在低频声学领域中得到广泛应用。

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3	郭江;CVD金刚石薄膜在微机电系统(MEMS)中的应用[J];功能材料;2003年03期
4	贾玉斌,董海峰,郝一龙;体硅隧道加速度计[J];纳米技术与精密工程;2004年01期
5	吴鸿宾,苑伟政,常洪龙,谢建兵;MEMS CAD软件开发中参数化版图库的研究及实现[J];机械设计与制造;2005年09期
6	章磊;谢超英;吴建生;;MEMS领域中形状记忆合金薄膜的研究与进展[J];材料导报;2006年02期
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10	江伟雄;刘修泉;何军;黄平;;体内微机电无线能量传输系统的设计与试验[J];现代制造工程;2009年04期
11	严伟;张筱朵;徐帆;徐波;;MEMS设计中的2.5维六面体网格划分(英文)[J];光学精密工程;2009年06期
12	刘修泉;李艳红;薛凯峰;黄平;;胶囊微机电无线能量传输系统设计与试验研究[J];工程设计学报;2011年03期
13	高钟毓;静电场耦合微机电系统的动态模型[J];机械工程学报;2001年03期
14	张东华;陈维山;刘军芳;陈在礼;;微机电系统用压电驱动器的发展及应用[J];仪器仪表学报;2006年S1期
15	王佩红;戴旭涵;赵小林;;微型电磁式振动能量采集器的研究进展[J];振动与冲击;2007年09期
16	任杰;樊尚春;;硅基谐振式微机械加速度计的设计与仿真计算[J];传感技术学报;2007年09期
17	简福建;李伟华;;MEMS工艺模拟与有限元软件接口的实现(英文)[J];光学精密工程;2009年07期
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19	李志超;王炅;徐伟;聂伟荣;;引信MEMS后坐悬臂梁保险机构[J];探测与控制学报;2010年05期
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1	何庆;索智群;乔东海;;单晶硅电容式低频传声器的设计和制作[A];2009’中国西部地区声学学术交流会论文集[C];2009年
2	王晓东;余家欣;陈磊;钱林茂;;水分和氧气对单晶硅摩擦化学行为的影响[A];2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议论文集[C];2011年
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5	王立鼎;;微机电系统的发展趋势及国内外研发状况(摘要)[A];中国科协2001年学术年会分会场特邀报告汇编[C];2001年
6	贾继伟;金延中;张凤翠;;浅析微机电(MEMS)系统技术及其应用[A];十三省区市机械工程学会第五届科技论坛论文集[C];2009年
7	毛刚;顾启泰;;微型惯性测量组合的发展[A];全国飞机与船舶通信导航学术研讨会论文集（上）[C];2000年
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9	郭永献;贾建援;梁丽萍;;MOMES光开关的研究现状及展望[A];2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集（二）[C];2007年
10	潘昕;汪承灏;徐联;魏建辉;;防粘连硅微电容传声器[A];2006’和谐开发中国西部声学学术交流会论文集[C];2006年

中国博士学位论文全文数据库

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1	祝捷;微机电系统自聚焦压电声学换能器[D];武汉大学;2010年
2	曹钟慧;应用于光通信的非硅基底光开关与光衰减器的研究[D];浙江大学;2005年
3	钟莹;微机电系统谐振器面内运动检测的激光多普勒方法[D];天津大学;2005年
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6	范细秋;纳米压印及MEMS仿生功能表面制备的研究[D];华中科技大学;2006年
7	孙吉勇;MEMS光栅光调制器阵列及投影显示系统的光学分析和实验[D];重庆大学;2008年
8	黄腾超;微流控集成光波导光开关的研究[D];浙江大学;2005年
9	李伟剑;微机电系统的多域耦合分析与多学科设计优化[D];西北工业大学;2004年
10	赵志强;一种基于MEMS和细胞电场效应的细胞融合方法的研究[D];重庆大学;2006年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	李杨;三维无线能量传输技术在体内微机电系统中的实验研究[D];华南理工大学;2011年
2	李宏;新型压电微驱动器在光学微机电系统中的应用研究[D];四川师范大学;2012年
3	熊建功;基于MEMS细胞电融合芯片及其外围驱动电路的设计[D];重庆大学;2006年
4	邓学亮;引信安全系统中高G值双稳态微加速度开关研究与设计[D];南京理工大学;2007年
5	李冠男;基于UV-LIGA技术的毛细管电泳芯片设计与制备[D];华中科技大学;2006年
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7	龚怀民;基于MEMS的微机械滤波器研究[D];电子科技大学;2006年
8	胡宁;基于SOI的细胞电融合原理性芯片的研制与细胞排队及融合实验研究[D];重庆大学;2007年
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10	张涛;激光多普勒微机电系统运动检测电路与软件设计[D];天津大学;2007年

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前10条

1	陈丹;科学家研制出可自我校准的微机电系统[N];科技日报;2010年
2	本报记者韩义雷　过国忠;无锡加快建设物联网“感知中国”中心[N];科技日报;2009年
3	恩智浦半导体高级总监及SIP项目经理 Alain Rougier　恩智浦创新高级总监 Eef Bagerman 恩智浦营运后端创新策略总监 Caroline Beelen-Hendrikx;SoC与SiP各有千秋两者之争仍将继续[N];中国电子报;2008年
4	本报记者梁靓;2009年微型投影悄然兴起[N];中国电子报;2009年
5	曹东;我国首颗内置传感器芯片在上海张江诞生[N];中国高新技术产业导报;2009年
6	;用事业测量人生[N];山西日报;2004年
7	本报记者许泳;MEMS：越感知越火热[N];计算机世界;2010年
8	本报记者王虹;微型机械于微细处见神奇[N];中国机电日报;2001年
9	本报记者赵艳秋;MEMS：软件算法是关键[N];中国电子报;2008年
10	;21世纪的航空前沿技术[N];北京科技报;2002年

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