化学溶液法制备ZnMno透明导电薄膜之特性
【摘要】:正本研究以化学镀浴沉积法(Chemical Bath Deposition,CBD)在康宁玻璃Eagle2000玻璃基材上制血掺杂Mn之ZnO薄膜,期望藉由Mn之掺杂制备磁性与半导体的光电性质良好共存的材料,并探讨掺杂Mn与热处理条件对ZnO薄膜之组成、晶体结构、导电特性、光学性质、表面形貌与磁性质之影响。实验利用电子微探仪(EPMA)分析成分组成、霍尔量测系统(HMS)量测电性、X光统射仪(XRD)分析晶
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