氧化钨/氧化钛溶膠凝膠薄膜之气体感测性质研究
【摘要】：本研究于氧化钨溶凝胶中,添加10%的二氧化钛溶凝胶,煅烧后可得形成氧化钨/氧化钛复合粉体。所得粉体,以X光绕射分析、扫描式电子显微镜分析、傅立叶转换红外线光谱仪分析、光学特性分析等仪器进行粉体之基本性质与结构检测。随后将氧化钨/氧化钛复合粉末披覆于气体感测电极上,进行气体感测之各种相关检测与分析。实验结果显示,添加10.0%氧化钛之氧化钨/氧化钛,由100℃的ε-WO_3单斜晶结构,随著热处理温度达到300℃,慢慢转变成三斜晶的δ-WO_3。比较不同参数的粉体,添加10.0%氧化钛之氧化钨/氧化钛,在感测性质上,有较优异的表现;于200℃,3 ppm之NO_2下,灵敏度为29.9。而在150℃,相同浓度下,有最佳灵敏度为86.1。
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