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用场发射扫描电镜检测聚苯乙烯颗粒直径的方法

孔明光  
【摘要】:正在相同工作条件下,用扫描电镜获取聚苯乙烯颗粒(被测样品)和标准样品放大的二次电子像。然后测量出被测样品和标准样品图像中的长度值。根据标准样品的已知长度,计算出被测样品的直径。标准样品一般采用有证书的标准样品,也可选用省级以上(包括省级)计量技术机构标定的样品。使用的扫描电镜分辨力应优于3nm,样品台工作面的高度可以调节。我们采用FEI公司的Sirion 200 场发射扫描电子显微镜,它的分辨率10KV时为1.5nm。

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