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火焰CVD法制备SiO_2纳米颗粒材料的实验与理论研究

谢洪勇  宁桂玲  毛宗强  孙雪  张礼鸣  
【摘要】:本文以SiCl_4为原料,以工业丙烷为燃料的火焰CVD工艺过程,实验研究了纳米SiO_2颗粒的制备技术与过程。制备了无定型的球形纳米SiO_2 颗粒材料。

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